反射镜、光刻装置及其控制方法专利信息由爱企查专利频道提供,反射镜、光刻装置及其控制方法说明:本申请提供一种反射镜、光刻装置及其控制方法,涉及光学领域,能够解决相干光因形成固定的干涉图样而无法匀...专利查询请上爱企查
本申请提供一种反射镜,光刻装置及其控制方法,涉及光学领域,能够解决相干光因形成固定的干涉图样而无法匀光的问题;该反射镜的反射面包括多个微反射面;多个微反射面中包括第一微反射面以及与第一微反射面相邻的第二微反射面;第一微反射面与第二微反射面之间具有高度差Δh,高度差Δh位于(0,kλ]的区间内;其中,λ...