同时，光刻机也可按操作自动化程度分类。手动光刻机操作简便但精度较低，适用于小规模或实验室环境。半自动光刻机通过部分自动化操作提高了生产效率，但仍需人工干预。而全自动光刻机则实现了从基板处理到曝光时长的完全自动化控制，大大提高了生产效率和精度，满足了大规模生产的需求。综上所述，光刻机的分类多...