精度较高的原子层沉积模拟仿真算法.并利用MATLAB软件开发了ALD工艺仿真程序,可直观演示沉积表面轮廓的变化过程.为国内ALD工艺仿真建模提供了新思路.首先,本文分析了ALD沉积工艺的基础理论和反应机理,并对先进工艺节点中高深宽比结构,SAXP工艺等做了介绍;总结了微观表面过程模型,基于稳态理论模型和宏观设备尺度模型在参数...