精度较高的原子层沉积模拟仿真算法.并利用MATLAB软件开发了ALD工艺仿真程序,可直观演示沉积表面轮廓的变化过程.为国内ALD工艺仿真建模提供了新思路.首先,本文分析了ALD沉积工艺的基础理论和反应机理,并对先进工艺节点中高深宽比结构,SAXP工艺等做了介绍;总结了微观表面过程模型,基于稳态理论模型和宏观设备尺度模型在参数...
先进技术节点中原子层沉积工艺仿真模型研究 摘 要 随着半导体工艺尺寸的不断减小,具有高保形性、膜厚精确可控的原子层沉 积技术得到了更多的重视。然而,随之而来的图形密度与工艺复杂度的提升,加 大了参数调节难度。利用计算机模拟工艺过程,可降低工艺调节成本、加快工艺 制程,是解决上述问题的最好方法。本文在已有相...