解析 MEMS 是以微电子、微机械及材料科学为基础,研究、设计、制造具有特定功能的微型装置,包括微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等,也被称作微机械、微构造或微电子机械系统。 MEMS 具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。