本发明公开了一种应用马兰戈尼效应的晶圆加工管理系统,数据处理模块将均匀性指数、活性成分浓度偏差、对流速度浮动指数以及环境颗粒物浓度指数进行预处理,质量分析模块在晶圆加工完成后,综合分析均匀性指数、活性成分浓度偏差、对流速度浮动指数以及环境颗粒物浓度指数后对晶圆进行质量分级,质量分级结果发送至操作员。该管理系...