MOS电容是MOSFET的核心部分,MOS结构电 容由于其结构简单并且和CMOS工艺兼容,可以用 来研究CMOS工艺掺杂、氧化、淀积等关键工艺; 还可以用来研究器件的界面特性、热载流子效应以 及电荷分布等,是进行实时工艺监控、测试工艺参 数和提取器件电学相关参数的重要测试结构。本文 ...