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静电卡盘又称为静电吸盘(ESC),在半导体设备中价值比较高的部件之一,是一种半导体工艺中的硅片夹持工具,利用静电吸附原理来固定硅片。 目前,静电吸盘广泛应用于集成电路制造工艺中,特别是刻蚀、PVD、CVD等核心工艺中。 静电卡盘是什么 卡盘 卡盘卡盘
静电卡盘 Ceramic Disk：陶瓷盘面外壳Electrode：电极Heater：加热器Bonding Material：粘合材料Baseplate：底板 静电卡盘 由于静电卡盘使用寿命约为2 年，它既属于零部件又可以被归为耗材。据估算，晶圆厂采购的静电卡盘金额占所有采购零部件产品的9%，与石英件、射频发生器、泵、阀占比相当。晶圆厂零部件采购金额占比 ...
静电卡盘具有在真空气氛中正常使用的功能,在高真空等离子体或特气环境中起到对晶圆的夹持和温度控制的作用,辅助半导体制程设备实现对晶圆特定区域的电性特征和物理形态的改变,使之呈现特定的功能,且通过其他一系列复杂苛刻的工艺将晶圆最终变成复杂的集成电路结构。静电卡盘和静电卡盘加热器广泛应用于半导体核心制程中,是...