【摘要】研究主要聚焦在批处理离子注入机台的沟道效应和锥角效应,以及阐述由于这些效应导致的晶圆片上的均匀性问题和产品上的良率损失.对于高能量离子注入,如果离子注入角度设定为0°会导致严重的沟道效应,但是大角度设定又会导致光刻胶的阴影效应,所以对于注入角度的选取需要尽量小.对于越来越先进的半导体工艺技术,线宽...
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,上海 201203)摘要:研究主要聚焦在批处理离子注入机台的沟道效应和锥角效应,以及阐述由于这些效应导致的 晶圆片上的均匀性问题和产品上的良率损失。对于高能量离子注入,如果离子注入角度设定为0°会导 致严重的沟道效应,但是大角度设定又会导致光刻胶的阴影效应,所以对于注入角度的...
基于研究结果对药型罩结构进行优化，优化后的药型罩能够形成具有明显横向效应增强型侵彻体（PELE ）效应的EFP ，在射入靶板时对其扩孔，并在穿透靶板后碎裂形成高速破片对目标内部进行二次毁伤。关键词：爆炸成型弹丸（EFP ）；弧锥结合药型罩；锥角；横向效应增强型侵彻体（PELE ）；侵彻；数值模拟中图分类号：TJ...
【题目】在学生实验中经常遇到实验现象或实验效果不明显的问题,我们需要对实验进行优化改进,下列采取的措施合理的是 A. 在测量纸锥下落的速度时,为了方便时间的测量,选用锥角较小的纸锥 B. 在探究平面镜成像时,为了使棋子的像清晰一些,用手电筒对着玻璃板照 C. 在探究红外线的热效应时,为了使温度计示数变化明显...
试题分析:A.在测量纸锥下落的速度时,为了方便时间的测量,选用锥角较大的纸锥,这样可以减小空气的影响程度,所以A合理;B.在探究平面镜成像时,为了使棋子的像清晰一些,用手电筒对着棋子照,平面镜所成的像和物体大小相等,用手电筒照增加了反射光线的强度,所以B合理;C.在探究红外线的热效应时,为了使温度计示数变化...
A.在测量纸锥下落的速度时,为了方便时间的测量,选用锥角较大的纸锥 B.在探究平面镜成像时,为了使棋子的像清晰一些,用手电筒对着棋子照 C.在估测大气压值时,为了便于弹簧测力计的测量,选用较大容积的注射器 D.在探究红外线的热效应时,为了使温度计示数变化明显,将玻璃泡涂黑 ...
解答:解:A、锥角大时,受到的空气阻力增大,测量结果更准确.此选项合理;B、物体成像要清晰,就必须让物体(棋子)有足够光线射向平面镜才能成像,而不是让平面镜(玻璃板)上有足够的光线.此选项合理;C、大气压变化值不变,注射器容积越大,测力计变化越小.此选项不合理;D、用温度计观察红外线的热效应时,把玻璃泡涂...
解答:解:A、锥角小时,受到的空气阻力减小,影响测量结果,故A错误; B、物体成像要清晰,就必须让物体(棋子)有足够光线射向平面镜才能成像,而不是让平面镜(玻璃板)上有足够的光线,故B错误; C、用温度计观察红外线的热效应时,把玻璃泡涂黑,是因为黑色吸热速度最快,可以使示数变化明显,故C正确; ...
A.在测量纸锥下落的速度时,为了方便时间的测量,选用锥角较大的纸锥 B.在探究平面镜成像时,为了使棋子的像清晰一些,用手电筒对着棋子照 C.在探究红外线的热效应时,为了使温度计示数变化明显,将玻璃泡涂黑 D.在估测大气压值时,为了便于弹簧测力计的测量,选用较大容积的注射器 ...
在实验中经常遇到现象或效果不明显的问题.我们需要对实验进行优化改进.下列采取的措施中不合理的是 A.在测量纸锥下落的速度时.为了方便时间的测量.选用锥角较大的纸锥 B.在探究平面镜成像时.为了使棋子的像清晰一些.用手电筒对着棋子照 C.在探究红外线的热效应时.为了使