产生毛刺和钻蚀的原因有: ①基片表面存在污物、油垢、小颗粒或吸附水汽,使光刻胶与氧化层黏附不良,引起毛刺或局部钻蚀。 ②氧化层表面存在磷硅玻璃,与光刻胶黏附不好,耐腐蚀性能差,引起钻蚀。 ③光刻胶过滤不好,存在颗粒状物质,造成局部黏附不良。 ④对于光硬化型光刻胶,曝光不足,显影时产生溶钻,腐蚀时造成毛...
金属材料接触某些溶液,表面上产生点状局部腐蚀,蚀孔随时间的延续不断地加深,甚至穿孔,称为点腐蚀(点蚀),也称孔蚀。通常点蚀的蚀孔很小,直径比深度小得多。蚀孔的最大深度与平均腐蚀深度的比值称为点蚀系数。此值越大,点蚀越严重。
激光钻蚀设备 激光钻蚀设备是一种用于信息与系统科学相关工程与技术领域的工艺试验仪器,于2015年8月13日启用。技术指标 单相220V/50HZ,整机功率3kw。主要功能 激光钻蚀。
百度试题 结果1 题目腐蚀时,如果腐蚀液渗透入光刻胶膜的边缘,致使图形边缘局部被腐蚀,腐蚀严重时,图形边缘出现锯齿状或绣花似的破坏,称为钻蚀。( ) 相关知识点: 试题来源: 解析 错误 反馈 收藏
sublevel undercut caving method分段下部掏槽崩落开采法 相似单词 undercutv.[T] 1. 削(价)竞争;以低于(竞争对手)的价格做生意 2. 削弱;使降低效力 n. 1. 大盖儿头发型;帽盔式发型;华盖式发型 翻译推荐 钻蚀undercut 钻蚀断面图undercut 蚀的ecliptic ...
减少光刻湿法腐蚀钻蚀的工艺方法,该工艺方法依次包括底膜预处理、一次光刻、二次光刻和湿法腐蚀,使基片进行湿法腐蚀前进行两次光刻胶保护。 进一步地,所述工艺方法依次包括底膜预处理、一次匀胶、一次前烘、一次曝光、一次显影、一次坚膜、二次匀胶、二次前烘、二次曝光、二次显影、显检、二次坚膜、湿法腐蚀、腐检...
雌船蛆可产卵几千万,以至1亿以上。幼虫孵化后,经过1~2周自由游泳,若遇到木材,立即附着其上,并开始钻蚀 大概是打洞吧
摘要 本发明属于半导体技术领域,尤其涉及一种减少光刻湿法腐蚀钻蚀的工艺方法,依次包括底膜预处理、一次光刻、二次光刻和湿法腐蚀,使得基片进行湿法腐蚀前进行两次光刻胶保护。本发明的减少光刻湿法腐蚀钻蚀的工艺方法,在通过不增加其它任何设备的情况下,在现有的生产条件下,提高湿法腐蚀质量。本发明在一次光刻后,湿法腐蚀...
钻蚀 钻蚀(undercutting)是1993年公布的电子学名词。公布时间 1993年,经全国科学技术名词审定委员会审定发布。出处 《电子学名词》第一版。