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一、钛靶材基本介绍 钛靶材是由纯钛或其合金通过特定的工艺制备出的具有特定形状（如圆形，方形或者其他复杂的形状）和精细表面的靶材。"靶"在这里是一个术语，主要用于涉及物理蒸发或溅射过程的领域，例如在薄膜沉积过程中，钛靶材就作为物质来源，供应原材料。纯钛和钛合金靶材都是钛靶材。纯钛是指化学成分中钛元素...
钛靶材是通过真空熔炼-熔模铸造工艺制成的高纯钛或钛合金板坯材料。它最显著的特性是高纯度和优良的致密性。优质的钛靶材的致密度可以达到99.5%以上，且杂质元素极低，如Fe、Si、O、N、H等元素含量均小于100ppm。这使得钛靶材在物理性能和化学性能上都远超普通工业纯钛。此外，钛靶材还具有卓越的均匀性。在制备...
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