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一、钛靶材基本介绍 钛靶材是由纯钛或其合金通过特定的工艺制备出的具有特定形状(如圆形,方形或者其他复杂的形状)和精细表面的靶材。"靶"在这里是一个术语,主要用于涉及物理蒸发或溅射过程的领域,例如在薄膜沉积过程中,钛靶材就作为物质来源,供应原材料。纯钛和钛合金靶材都是钛靶材。纯钛是指化学成分中钛元素...
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