暗场中使用的光源使用波长比亮波长长的紫外线。 明场法是一种使用反射光的测量方法。该结构是一种在微透镜视角下创建和照射激光源的方法。然后,它接收反射光,反射光是明亮的,如果有结构,它就会被散射,所以结构显得黑暗。使用短波长的DUV作为光源,分辨率好,但通放不如暗场,因此用于具有精细图案的晶圆的检查。 →结...
拍照式三维扫描仪是由光栅投影设备及两个工业级的CCD Camera所构成,其原理就如同人类的两双眼睛,藉由光栅投影在待测物面上,并加以粗细变化及位移,配合CCD Camera将所撷取的数位影像透过电脑运算处理,即可得知待测物的3D外型。 而单一笔的量测资料计算出来之后,藉由参考点来定位,经电脑运算后会自动定位回去,简单说...
量测法就是利用量测工具或计量仪表，通过实际量测结果与规定的质量标准或规范的要求相对照，从而判断质量是否符合要求。
正位度量测方法 正位度量测方法(三种情形)
(2). 然后获得指定测量位置的线轮廓。线剖面基本上是指示被测特征尺寸的剖面变化信号; (3). 线轮廓用于获取指定位置的尺寸。CD-SEM通过计算测量区域中的像素数来自动计算尺寸。 光刻胶线的SEM图像顶部绘制的线轮廓图 光刻胶线的横截面图与SEM图像之间的关系(如下左图);如果线横截面(如下右图)所示呈梯形,则顶...
成人步数量测方法 成人步数量测方法有以下几个: 一、测量步频方法: 1、自助测量。步频的单位多采用“次/分钟”,也就是每分钟迈步的次数。步频的自助测量非常简单:在正常跑步状态中,使用手机、秒表或腕表进行计时,同时默默累加迈步次数,将1分钟的步数累加后便是步频。为了获得更加客观的测试结果,也可以在跑步过程中...
一、抱闸线圈量测前准备 在进行抱闸线圈量测之前,需要首先做好准备工作。这包括确认测试仪器的精度、保证被测物品正确连接、检查测试系统是否准备就绪等。确保这些准备工作完成后,方可进行后续步骤。 二、抱闸线圈量测步骤 1. 测量电阻值 首先,需要测量抱闸线圈的电阻值。具体来说,将测试仪器的电极接头连接到抱...
因此影响同轴度的主要因素有被测元素与基准元素的圆心位置和轴线方向，特别是轴线方向。如在基准圆柱上测量两个截面圆，用其连线作基准轴。在被测圆柱上也测量两个截面圆，构造一条直线，然后计算同轴度。假设基准上两个截面的距离为10 mm，基准第一截面与被测圆柱的第一截面的距离为100 mm,如果基准的...
1. 方尺法。（1）用定制的方尺垂直地放在直股基本轨前接头夹板跟端处，然后用钢巻尺测量直曲基本轨接头端部至方尺间的距离，测量两股基本轨接头端部距离的差数就是道岔左右股之间的爬行量，也叫接头错差量。（2）用方尺垂直放在尖轨尖端处，测量两根尖轨之间的爬行量。（3）用方尺垂直放在直股主轨后接头夹板...
常用量测方法介绍 2.5次元常用量测方法介绍 1.点：此功能用来测量点的坐标，在量测功能内选择点的功能，在工件上找到所需的点，然后按下空格键，在软件内即可看到你所取的点，在结果栏位内会看到点所在的坐标。2.线：此功能用来测量两点之间线段的长度，在量测功能内选择线功能，在工件上找到所需的第一个点...