首先,辉光放电是在特定气体环境中,通过施加高电压、低电流而产生的发光现象,其特点在于辐射强度变化多样,形成条件相对特殊。相比之下,等离子体的产生则需要更高的电压和更大的电流,是物质在微观尺度上电离后,由带电粒子组成的准中性体系。 从物理特性来看,辉光放电以辐射和发光为主要表现,视觉效果显著,但辐射能量密度...
辉光放电是指在气体中加高电压、低电流条件下产生的、具有强弱不一的辐射或发光现象,是一种特殊的气体放电。而等离子体则是在物质从原子、分子等微观尺度上电离后,带电粒子形成的准中性体系,也可以理解为是带电的气体。 二、辉光放电和等离子体的形成条件不同 辉光放电通常需要较高的电压和较低的电流,...
1. 材料处理领域:等离子辉光放电在材料表面处理中具有广泛应用。通过辉光放电产生的等离子体,可以对材料表面进行清洁、活化、改性等操作,提高材料的性能和使用寿命。例如,在半导体行业中,等离子体技术被用于硅片的刻蚀和薄膜沉积等关键工艺。 2. 环保领域:等离子辉光放电等离子体在...
辉光放电等离子体处理可以用于不同材料的表面处理。例如,对于金属材料,等离子体处理可以通过溶解、腐蚀和沉积等方式改变金属表面的形貌和性质。对于聚合物材料,等离子体处理可以增强材料表面的润湿性、改善附着力、增加表面能等。 辉光放电等离子体处理的优点包括:处理速度快、效果稳定、处理过程无需直接接触物体,避免了机械...
实验一:氩气辉光放电 将真空腔体抽真空至1E-4 Pa级别,注入氩气。腔体内电极连接信号发生器。腔体设有石英窗,用于拍摄等离子体发光。 相机设置为内触发模式,进行对焦。对焦完成后,将相机切换至外触发模式。信号发生器产生的正弦脉冲电压频率1.356kHz,电压输出设置为高阻抗输出 5V。通过示波器观察Gate Delay为0时刻时,...
辉光放电又分为“正常辉光放电”与“异常辉光放电”两种,它们是磁控溅射镀膜工艺过程中产生等离子体的基本环节。 辉光放电(或异常辉光放电)可以由直流或脉冲直流靶电源通过气体放电形成,也可以用 交流(矩形波双极脉冲中频电源、正弦波中频与射频)靶电源通过真空市内的气体放电产生。 气体放电时,充什么样的工作气体、气压...
射频等离子体和射频辉光放电等离子体都是一种利用电场或磁场激发气体分子而产生的等离子体,但它们的产生机理和特点有所不同。 射频等离子体是一种利用射频电场激发气体分子而形成的等离子体,主要应用于半导体制造、表面处理、光源等领域。射频等离子体的频率一般在10...
辉光放电产生的等离子体是一种特殊的气体放电现象，其中电流通过气体介质形成导电通道，使得气体分子或原子发生电离，形成电子、离子和中性粒子共存的电离气体。这种电离气体就称为等离子体。辉光放电通常发生在装有低压气体的玻璃管中，当在两个电极之间施加足够的电压时，气体中的电子被加速并碰撞气体分子，使其电离产生...
标准体系建设逐步完善,国际电工委员会发布的IEC62859标准明确规定了大气压等离子体光谱检测的操作规程。我国制定的GB/T38234-2019标准则详细规定了氮氧化物检测的光谱分析方法。这些标准的确立推动着技术在各行业的规范化应用,促进大气压辉光放电等离子体光谱技术从实验室研究走向工业实践。©...
辉光放电与等离子体 1、辉光放电 通常把在电场作用下气体被击穿而导电的物理现象称之为气体放电。气体放电有“辉光放电”和“弧光放电”两种形式。辉光放电又分为“正常辉光放电”与“异常辉光放电”两种，它们是磁控溅射镀膜工艺过程中产生等离子体的基本环节。辉光放电(或异常辉光放电)可以由直流或脉冲直流靶电源通过...