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作为半导体设备的基石，半导体设备零部件支撑设备行业的发展。精密零部件也是半导体设备制造环节中难度较大、技术含量较高的环节。在高技术壁垒下，成为半导体产业中的“卡脖子”环节之一。从供应链角度来看，零部件直接影响半导体设备的交付。从产值角度来看，半导体零部件年产值达上百亿美元，推动下游各环节产业规模呈现...
根据中国电子专用设备工业协会统计，2021 年中国大陆主要国产半导体设备销售额达到 386 亿元， 国产化率约 20%；预计 2022 年国产化率将上升到 25%。根据芯谋研究数据，半导体设备零部件国产 化率依然不高。晶圆制造的突破核心在于设备，设备的突破核心在于零部件。尽管中国大陆半导体零部件市场规模在快速增长，但是国产...
因此，不同种设备零部件各有侧重，零部件的市场整体呈现碎片化的特点。根据芯谋研究的数据，例如从 2020 年中国晶圆厂采购的设备零部件来看，Quartz（石英件）、RF Generator（射频电源）、Pump（泵）、Valve（阀门）、Chuck（吸盘）等零部件占比相对较高，比重也仅仅在 10%左右，而 Gauge（测量计）、MFC（气体流量...
1.1. 半导体设备的核心部分,下游厂商营业成本的主要来源 半导体设备由大量零部件组成,零部件的性能、质量和精度直接决定着设备的可靠性和稳 定性,因此半导体设备零部件需要在材料、结构、工艺、品质和精度、可靠性及稳定性等 性能方面达到半导体设备及技术要求。半导体零部件是半导体行业的基石。常见的半导体 零部件有密...
1. 半导体设备零部件简介及分类 1.1. 半导体设备的核心部分,下游厂商营业成本的主要来源 半导体设备由大量零部件组成,零部件的性能、质量和精度直接决定着设备的可靠性和稳 定性,因此半导体设备零部件需要在材料、结构、工艺、品质和精度、可靠性及稳定性等 性能方面达到半导体设备及技术要求。半导体零部件是半导体行业的...
模组件：分为EFEM（传送模块）、传送腔体、反应腔体，还有部署设备（气柜、电柜）、清洗组件、冷却组件（CM）。零部件：1）金属件：一般包括铝锭（纯铝，用作腔体）、不锈钢（用作骨架）、铝合金为原料制作的产品，目前国产化率最高。2）非金属件：陶瓷件、石英件、石墨。3）气柜：主要用世伟洛克的产品；其中的...
四、国产化率较低的材料类零部件 矢量科学-设备销售种类 深圳市矢量科学仪器有限公司孵化于武汉大学团队,由众多海归及国内顶尖名校团队组成,致力于泛半导体实验线、中试线、生产线装备销售、工艺及厂务技术服务的国家级高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。已授权专利 32 项,软件著作权 14...
半导体设备根据功能分区,其零部件通常可分为:光学系统、机械类、电气类、机电一体类、气体输送系统、真空系统、附属设备、仪器仪表、气动系统类、二次配设施、工艺材料类。
设备关键零部件是指在设备中发生故障或无法正常工作时,会直接影响设备性能和功能的核心部件,它们通常在製造和设计过程中就被特别关注和优化。设备关键零部件的失效会对设备的可靠性、寿命、安全性和维护成本产生重大影响,可能会导致设备完全失效或严重受损。 二、设备关键零部件的重要性 由于设备关键零部件的重要...