亚原子衍射或4DSTEM成像为研究固体的原子尺度功能（无序、铁电畸变以及场和轨道结构）提供了一个窗口，可以观察到单个结构单元的水平。要快速实现这一机会，需要启动跨学科研究努力，结合电子显微镜、数据分析和图像分析以及机器学习，特别关注像差校正设备中的图像形成机制。总结 电子叠层衍射成像是一种基于相干衍射成像的...
X射线衍射成像(XRDI, X-ray diffraction imaging)技术,亦称为X射线形貌相(XRT, X-ray Topography)技术,能够以非常高的应变敏感性对晶圆的表面以及晶圆内部的位错、滑移带、微裂纹等各种不可视缺陷(NVD)进行成像。在晶圆制造中,可以抽检晶圆,进行XRDI检测,及时发现每道工段站点有无产生、诱发新的晶圆缺陷。XRDI技...
多晶电子衍射谱是由一系列不同半径的同心圆环组成; 非晶体电子衍射花样是模糊的一团。 单晶花样是一个零层二维倒易截面,其倒易点规则排列,具有明显对称性,且处于二维网络的格点上。因此表达花样对称性的基本单元为平行四边形。单晶电子衍射花样就是(uvw)*零层倒易截面的放大像。 多晶试样可以看成是由许多取向任...
对于衍射受限系统只需要分析孔径光阑,它决定了系统的成像质量上限。 还有一个重要的概念就是入瞳与出瞳,这个其实是几何光学(应用光学)里的概念,但是这里还是要说明一下这个概念,因为在分析光学系统的时候通常不会直接分析孔径光阑,而是分析入瞳与出瞳。入瞳与出瞳对于光学系统是共轭的,出瞳就是入瞳对于光学系统的像,...
光电资讯公众号今天用一组图片和公式帮您了解光学仪器的像分辨本领,有兴趣的朋友们可以看看。 一、夫琅禾费圆孔衍射 圆孔的半径为a,衍射孔上Q(ρ,ϕ)点的光振动振幅为Ẽ(Q)。 观察平面上P点的光振动复振幅: P点的总复振幅和总光强度: I(P0):衍射中心点的强度;J1(x):第一类一阶贝塞尔函数。
1、相干衍射成像相干衍射成像相干光源照明条件下,通过物波衍射或干涉光场强度分布获取波前相位信相干光源照明条件下,通过物波衍射或干涉光场强度分布获取波前相位信息实现二维或者三维物体成像的技术称为相干衍射成像(息实现二维或者三维物体成像的技术称为相干衍射成像(CDICDI)。)。相干衍射成像(CDI )是从衍射分布中恢复...
1、 第四节第四节 光学成像系统的衍射和分辨本领光学成像系统的衍射和分辨本领一、在像面观察的夫琅和费衍射一、在像面观察的夫琅和费衍射成像系统对成像系统对无穷远处的点物无穷远处的点物在焦面上所成的像在焦面上所成的像是夫琅和费衍射像。是夫琅和费衍射像。成像系统对成像系统对近处点物近处点物在像...
1、明场像暗场像定义 明场像 (BF)：选用单一透射束形成的衍射衬度像。像清晰。暗场像 (DF)：选用单一衍射束形成的衍射衬度像。像有畸变。说明：成像电子束选取采用物镜首焦面插入人镜光雨米头。+在暗场成像情况下，成像电子束与透射电镜光轴存在偏差，导致像差大和成像质量不佳，为了得到高质量的暗场像往往采用...
根据惠更斯－菲涅耳原理，在焦面上的这些衍射图样可以看成许多相干次波源，每个次波源的强度正比于该点的振幅。因此在像平面 ∑i上成像过程可以看成从这些次波源发出的光波互相干涉的结果，即所谓成像的两次衍射过程。要得到一个逼真的像，所有衍射光都必须参与成像过程，事实上由于物镜的孔径有限，高衍射级...
摘要 像差校正透射电子显微镜是材料微观结构和物态高分辨率表征最常用的工具之一，极大地推动了相关学科的发展。近年来，电子显微学领域一个新的突破是电子叠层衍射成像技术。它突破了常规成像技术分辨率的极限，实现了原子晶格振动决定的终极分辨率，并且能够实现纳米尺度电磁物态的高精度成像。文章主要简述了电子叠层衍射...