本论文侧重以重点分析其国产苏州瑞红公司产RZJ304正胶为研究对象,光刻环节各工艺参数的影响程度,表征国产光刻胶的光刻效果与线宽加工能力。二、实验分析方法与过程H前市面上国产光刻胶基本都能适用于I线(365nm)、线(405nm)和G线(436nm),关键尺寸在0.35μm及其以上的精度。基于上述光刻胶基本物理化学特性,本论文...
国产苏州瑞红RZJ304光刻正胶应用工艺研究 下载积分:1500 内容提示:万方数据 r 邮 "的Wod中“件 合并 实 际应 用口李诗泉 焦欣 欣 【摘 wod 要】r中“ 功 邮件 合并”能,以实现Wod与Ecl格、cs数 据表 等数 据源 的数 据共享 交换 ,文通过“ 可 r xe表 Aces 本 邮件 合 功 r xe 关联 起来,...
产业与科技论坛2012年第 卷第4期2012.( ).4Industrial&ScienceTribune国产苏州瑞红RZJ304光刻正胶应用工艺研究□陈相逢李娟冯婷婷吴海涛【摘要】本文以国产瑞红RZJ304正胶为载体,基于光刻工艺环节中各工艺参数要求,以线宽1、2、5微米的叉指电极为标准,重点研究各工艺参数如曝光强度、曝光时间以及显影时间等关键因素对光刻...
光刻胶及聚酰亚胺紫外宽谱正性光刻胶RZJ-390/304/306/306B/307/325/3600/2500 苏州瑞红电子化学品有限公司RZJ系列紫外宽谱正性光刻胶是G线、I线通用的酚醛树脂正性光刻胶,系列产品应用行业也十分广泛,适用于TFT-array、LCD及TP制造,也适用于LED图形化衬底及芯片制造,以及应用于半导体制造,具有高感光度,高附着...
商品名称:仁聚益苏州瑞红RZJ-390PG光刻胶 RZJ-304正性光刻胶 RZX-3038正胶显 正型光刻胶RZJ-304 500ml 商品编号:10107517647086 店铺: 柒枣工业品专营店 类别:UV胶 商品介绍加载中... 售后保障 卖家服务 京东承诺 京东平台卖家销售并发货的商品,由平台卖家提供发票和相应的售后服务。请您放心购买! 注:因...
摘要: 本文以国产瑞红RZJ304正胶为载体,基于光刻工艺环节中各工艺参数要求,以线宽1,2,5微米的叉指电极为标准,重点研究各工艺参数如曝光强度,曝光 时间以及显影时间等关键因素对光刻效果的影响程度;以此表征该类型光刻胶良好的光刻效果,为后续实际器件加工与应用奠定基础.关键词:...
http://www.szruihong.com/Product/Show.aspx?id=352 正性光刻胶
RZJ-390/304/306/306B/307/ 325/3600/2500 苏州瑞红电子化学品有限公司RZJ系列紫外宽谱正性光刻胶是G线、I线通用的酚醛树脂正性光刻胶,系列产品应用行业也十分广泛,适用于TFT-array、LCD及TP制造,也适用于LED图形化衬底及芯片制造,以及应用于半导体制造,具有高感光度,高附着性适用于湿法刻蚀工艺的优点。