3简述压阻式、压电式、电容式压力传感器的结构特点及应用范围 答:压阻式传感器核心部分是一块圆形膜片,在膜片上应用集成电路成型工艺制成的等值硅电阻构成平衡电桥的四个桥臂,膜
结构原理半导体压敏电阻式进气歧管绝对压力传感器(___)由压力转换元件(硅膜片)和把转换元件输出信号进行放大的混合集成电路组成。压力转换元件是利用半导体的压阻效应制成的硅膜片。硅膜片的一侧是真空室,另一侧导入进气歧管压力,所以进歧管内绝对压力越高,硅膜片的变形越大,其变形量与压力成正比。附着于薄膜上的应变...