新型光干涉法纳米级润滑膜厚度测量仪
纳米级润滑膜相对光强点接触薄膜润滑润滑膜厚度的测量是开展纳米量级薄膜润滑状态研究的关键问题.利用光干涉法相对光强原理研制出一种纳米级润滑膜厚度测量仪,在低速低载荷条件下对点接触纯滑动润滑接触中心区润滑膜厚度进行测量,并讨论接触中心区和润滑膜厚度与速度和载荷之间的关系.结果表明:已测量的膜厚值已达到纳米...
并且提出了一些膜厚测量方法.但是,这些方法在测量纳米级润滑薄膜时却都不同程度地存在着分辨率和精度都低等缺点.因此,根据光干涉法测量膜厚的基本原理提出了相对光强原理,并且经过特定的光路设计,研制了一种NGY-2型纳米级润滑膜厚度测量仪.在给定条件下的测试结果表明,这种测量仪具有膜厚测量分辨率和精度都高,以及抗...
但是,这些方法在测量纳米级润滑薄膜时却都不同程度地存在着分辨率和精度都低等缺点.因此,根据光干涉法测量膜厚的基本原理提出了相对光强原理,并且经过特定的光路设计,研制了一种NGY-2型纳米级润滑膜厚度测量仪.在给定条件下的测试结果表明,这种测量仪具有膜厚测量分辨率和精度都高,以及抗外界光场变化能力强等优点....