但是,若改变离子束的射出条件,则离子束具有的能量变化,因此铣削速度改变,另外,离子的密度分布也改变,进一步地,干扰施加的影响的大小也改变,因此,期望调整以与实际的加工时的射出条件相同的条件进行。因此,为了以实际的加工时的射出条件进行位置调整,有时离子铣削装置的操作人员在试样台上安装例如铜箔这样的加工对象,然后...
现有技术中对工件实施离子束铣削的过程由于无法同时且自动地实现与制备或/和分析工件相关的下列四个特征或方面而受到限制(1)样品的一部分的厚度或薄度,(2)将具有特定位置的靶设置在经过铣削的工件中的能力,(3)具有特定位置的靶在工件内的深度,和(4)经过铣削的工件表面的质量,包括经过铣削表面的选择性控制。 因此...
1. 通过cryo-FIB对植物细胞壁进行剥离与铣削,可以使cryo-ET进行筛选和倾斜系列采集,同时能够进入植物细胞壁的深层,这是以前原子力显微镜技术(AFM)所无法实现的。 2. cryo-ET和cryo-FIB铣削技术相结合,可以成为研究机械应力和各种处理对细胞壁影响的有效方法,同时可以更好地了解不同细胞壁之间的相互作用,为针对细胞...
尽管金刚石极端的物理属性,金刚石也能够用聚焦离子束(FIB)技术相对简单的加工。在FIB铣削加工中,金刚石切削刀具的表面性质是被由FIB镓离子束的碰撞和移植所导致的无定形的损伤表面影响的,而且这些影响了金刚石切削刀具的边缘锋利度,增加了处理程序。为了保护金刚石衬底,在金刚石FIB铣削中,一个铂(Pt)涂层是必不可...
离子铣削法是一种在真空中使加速的离子冲撞到加工对象的试料上,利用该冲撞的离子将原子或分子从试料中挤出的溅射现象,对试料进行切削或研磨的加工方法。此时,通过在射束的照射方向的试料面上预先载置作为离子束的遮蔽板的掩膜,由此,从该掩膜端面突出的仅试料面部分被溅射,能够加工沿着离子束的光轴方向的平滑的试料剖...