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《磁镜场中空心阴极溅射金属等离子体研究》是依托北京大学，由付东坡担任项目负责人的面上项目。项目摘要 一系列双空心阴极金属离子源（DUHOCAMIS）的放电实验结果表明，这种离子源放电曲线具有大范围变化弧流阻抗的特性，且与磁镜场中空心阴极溅射金属等离子体密切相关。本项目将基于DUHOCAMIS平台，进行多参数系列的金属...
主权项: 权利要求书 1、一种磁镜场约束双靶非平衡磁控溅射方法,其特征在于:在两个相对放 置的永磁式磁控靶的外围设置两个通电的同轴线圈,形成和两个永磁式磁控靶 同轴的完全封闭的磁镜场,通过调整相对放置的同轴线圈的电流来调整沉积区 域放电等离子体状态和沉积参数。
摘要: 提出了采用磁镜场约束电子云形成空间电荷透镜的新结构,分析了磁镜场中形成约束电子云的基本原理.通过近似数值计算,给出了电子云产生的空间电荷场的特征分布.关键词:磁镜场 空间电荷透镜 电子云 DOI: 10.3969/j.issn.1004-0366.2001.03.014 被引量: 5 ...
在直接耦合式微波等离子体化学气相沉积金刚石膜装置的石英管反应腔加上磁镜场来更好地约束等离子体,使等离子体球成为"碟盘"状,提高了等离子体球的密度,在基本参数:反应压力2.5 kPa、基片温度450℃、气体流量为Ar:40sccm、CH4:4sccm、H2:60sccm不变的情况下,沉积面积直径由30 mm增长到50 mm,沉积速度由3.3μm/...
【摘要】用PIC粒子模拟的方法描绘具有初始速度分布的等离子体在磁镜场中的运动状态,得出等离子体在磁镜场中的运动轨迹图,形象表现了磁镜场对等离子体的约束作用,表明用PIC粒子模拟方法探索在磁镜场中等离子体运动的物理过程和规律是可行的和有效的. 【总页数】4页(P21-24) 【作者】刘列;刘永贵;杨建坤 【作者单位】国...
由单粒子轨道理论 ,从分析磁镜场中荷电粒子的受力情况出发 ,应用计算机数值求解方法模拟了磁镜场中荷电粒子的运动情况.结果表明 :与经典的理论分析结果不同 ,当荷电粒子的起始位置与磁轴的距离不等于其拉摩尔半径时 ,荷电粒子在平行磁轴方向和垂直磁轴平面中的速度分量存在着周期性变化 ,其周期为荷电粒子的拉摩尔...
带电粒子在磁镜场中运动时速度的演变
(ChemicalVaporDeposi— tion,CVD)金刚石膜装置的石英管反应腔加上磁镜场,以更好地约束等离子体,使等离子体球成为 “碟盘”状,提高了等离子体球的密度,在基本参数不变的情况下,沉积面积可由~p3Omm增长到 50mm,沉积速度由每小时3.31,zm增长到3.81xm,反射电流减小,从而减少了在石英管壁和观察窗 的沉积,更好地...