专利摘要显示,本申请公开了一种磁悬浮平面电机的位移装置,包括:定子和动子,定子设有磁体阵列、读数头和光谱共焦位移传感器,磁体阵列沿水平面延伸,读数头包括有至少一个第一读数头和至少一个第二读数头,光谱共焦位移传感器设有至少三个且不共线设置;动子设有第一阵列三相线圈、第二阵列三相线圈以及平面光栅;其中,在...
专利摘要显示,本申请公开了一种磁悬浮平面电机的位移装置,包括:定子和动子,定子设有磁体阵列、读数头和光谱共焦位移传感器,磁体阵列沿水平面延伸,读数头包括有至少一个第一读数头和至少一个第二读数头,光谱共焦位移传感器设有至少三个且不共线设置;动子设有第一阵列三相线圈、第二阵列三相线圈以及平面光栅;其中,在...