第五题 电子元件厂 某公司拟在工业园区建设一电子元器件生产企业A厂。电子元器件生产以硅片为基材,经氨水清洗,氢氟酸/硫酸蚀刻、砷化氢掺杂、硫酸铜化学镀等工序得到产品。其中掺杂工序和化学镀工序流程见图5-1。 图5-1 掺杂工序和化学镀工序流程图 生产过程中产生的清洗废水、蚀刻废水、尾气洗涤塔废水...