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硅片清洗剂广泛应用于光伏,电子等行业硅片清洗;由于硅片在运输过程中会有所污染,表面洁净度不是很高,对即将进行的腐蚀与刻蚀产生很大的影响,所以首先要对硅片表面进行一系列的清洗操作。清洗的一般思路首先是去除表面的有机沾污,然后溶解氧化膜,因为氧化层是“沾污陷进”,会引起外延缺陷;再去除颗粒、金属等,...
机械清洗是使用力量和物理方法来清洗硅片的一种方法。通常会使用超声波清洗、喷淋清洗、刷洗等方式来去除硅片上的杂质。与其他清洗方法相比,机械清洗可以快速、高效地清除硅片表面和表层所附着的许多污染物。但是,机械清洗也会对硅片表面造成一定的损伤,因此在选择此种清洗方法时需要谨慎。 二、化学清洗 化学清洗是利用...
硅片清洗的作用 1.在太阳能材料制备过程中,在硅表面涂有一层具有良好性能的减反射薄膜,有害的杂质离子进入二氧化硅层,会降低绝缘性能,清洗后绝缘性能会更好。2.在等离子边缘腐蚀中,如果有油污、水气、灰尘和其它杂质存在,会影响器件的质量,清洗后质量大大提高。3.硅片中杂质离子会影响P-N 结的性能,引起P-...
一、清洗方法选择 硅片表面的氧化层会对器件性能产生很大的影响,因此清洗硅片表面的氧化层是制备硅片器件过程中必须要做的一步。下面介绍几种常见的清洗方法。 1. 碱性清洗 碱性清洗适用于表面积为100平方厘米以下的硅片,能够有效地去除表面的氧化层和有机污染物。清洗方法为将硅片放入碱性清洗液中浸泡,然后...
1.在太阳能材料制备过程中,在硅表面涂有一层具有良好性能的减反射薄膜,有害的杂质离子进入二氧化硅层,会降低绝缘性能,清洗后绝缘性能会更好。 2.在等离子边缘腐蚀中,如果有油污、水气、灰尘和其它杂质存在,会影响器件的质量,清洗后质量大大提高。 3.硅片中杂质离子会影响P-N 结的性能,引起P-N 结的击穿电压降低...
下面将详细介绍硅片清洗的步骤和方法。 一、去除有机污染物 1. 酸洗:将硅片浸泡在稀酸溶液中,如氢氟酸、硝酸等,以去除有机污染物。酸洗可以将有机物氧化并去除,但需要注意控制酸浓度和浸泡时间,以免对硅片造成损害。 2. 碱洗:将硅片浸泡在强碱溶液中,如氢氧化钠溶液,以去除酸洗过程中残留的酸性物质和有机污染...