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一、皮拉尼真空计 1皮拉尼真空计原理 · 加热电阻丝，使之升温至需要的工作温度 · 由于气体粒子与电阻丝碰撞离开时带走了能量，电阻丝的温度会发生变化 · 热丝的能量损失与热丝周围的气体浓度及气体成分成比例关系 2衍生出两种类型的皮拉尼规 1）稳定温度，测量施加的电压变化等效测量真空度（INFICON PSG500）2）...
真空计,也称为真空表计和真空规管,是通过测量真空下气体的压力来判断真空度的高低,广泛用于科研和工业生产。 根据真空计测量原理所采用的不同物理机制,真空计主要可分为三类:利用力学性能(如波尔登真空计和薄膜电容规)、利用气体动力学效应(如皮拉尼电阻规和热电偶规)和利用带电粒子效应(热阴极电离规和冷阴极电离...