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一、皮拉尼真空计 1皮拉尼真空计原理 · 加热电阻丝，使之升温至需要的工作温度 · 由于气体粒子与电阻丝碰撞离开时带走了能量，电阻丝的温度会发生变化 · 热丝的能量损失与热丝周围的气体浓度及气体成分成比例关系 2衍生出两种类型的皮拉尼规 1）稳定温度，测量施加的电压变化等效测量真空度（INFICON PSG500）2）...
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INFICON 大量程真空计设计紧凑,具有卓越的精确性和可靠性。四种物理技术包含了从超高真空度到大气压的完整真空范围。通过 INFICON 皮拉尼技术,可在低和中真空范围实现经济实惠的测量。INFICON 微型电容膜片技术可在低真空范围实现精确测量,而超高和高真空范围则是热或冷
真空计是测量真空系统中气体压强的仪器,种类很多, 这里介绍的复合真空计是常见的一种, 复合真空计是由温差电偶真空计与热阴极电离真空计组合而成。 温差电偶真空计的原理 温差电偶真空规管由玻璃制成, 通过小管8 和真空系统相接, 如图1所示, 在规管内的两根引线上装有热丝3,另外两根引线上焊着一对温差电偶4, ...