真空测量就是真空度的测量，而真空度是指低于大气压力的气体稀薄程度。以压力表示真空度是由于历史上沿用下来的，并不十分合理。压力高意味着真空度低；反之，压力低意味着真空度高。用以探测低压空间稀薄气体压力所用的仪器称为真空计。本书所述压力的测量是指比大气压力小得多的气体压力测量。压力是一个力学量，...
真空测量技术是测量容器中或某部分空间气体的稀薄程度的技术。测量容器中或某部分空间气体的稀薄程度（即真空度）的技术。真空测量技术在真空电子器件工艺、固态电子器件工艺、集成电路工艺、表面分析技术等领域有广泛应用。真空度常用容器中气体的总压强P来表示。气体压强的测量单位是牛顿/米2，简称帕(Pa)。公式 传统上...
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压力计法是常见的真空度测量方法。这种方法使用物理或化学手段来测量气体压力。压力计法分为三种常用类型: (1)普通水银压力计:这种压力计是真空系统中最常用的压力计。它的测量原理是利用水银柱的高度来测量气体压力。 (2)旋转圆盘式压力计:这种压力计使用旋转圆盘来测量气体压力。圆盘上的凹槽会使得气体分子在凹槽里...
真空测量包括全压力测量、分压力测量和真空计校 准三个部分。用以探测低压空间稀薄气体压力所用的仪器称为真空计。这里所谓压力的测量是指比大气压力小得多的气体压力测量。真空技术中遇到的气体压力都很低，如有时要测l0-10pa 的压力，这样极小的压力用直接测量单位面积所承受的 力是不可能的。因此，测量真空度...
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绝对电容压力计通常用于过程真空测量，主要用于半导体行业的真空测量。由于电容压力计对气体成分不敏感，因此几乎在所有用于过程压力控制中的半导体工艺中都使用绝压计（电容膜片压力计）。三、间接压力测量 在非常低的压力下（低于约 10 -4Torr），绝压计在不同压力下隔膜偏转测量值之间的相对差异不再足够敏感，无法用于...
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二、真空度的测量 测量真空度一般有五种方法: 1. 与外界大气压力相比较。 在图一中,装有水银的 U 形管两端开口。一端直通大气,另一端与真空系统连接(设压力为 PA),两端的水银柱的差为△h,若设大气压为 P 大,有 P 大-PA=△h 则 PA=P 大-△h mmHg 但是,我们必须注意,大气压并非为 760mmHg,气压...
用激光频率ν(用秒单位进行测量)和激光真空波长λ(用米单位进行测量)的乘积得到的真空中光速c(=νλ)是一个导出单位(速度单位)。多数科学家建议,由于真空中光速c 是基本物理常数,物理学上认为它是一个恒定不变的量,可以通过约定,将它的值采用一个国际公...