所有设备真空腔体的真空度检测主要是用真空规,一般前级真空一个,本底和工艺监控各一个,如果进口的真空计,皮拉尼、热电离规、电容薄膜规等,中国的真空设备厂家中,使用广泛的进口真空测量产品是深圳市科锐诗汀代理的瑞士英福康(INFICON)的真空计及控制器。 但是困扰使用者的一个问题是英福康(INFICON)的真空计及控制器种类...