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电子特种气体(简称“电子特气”)是指用于半导体、平板显示及其它电子产品生产的特种气体。晶圆制造主要包括清洗、沉积/CVD、光刻、刻蚀、离子注入、成膜等工艺,从单个芯片生成到最后器件的封装,几乎每一个环节都离不开电子气体,因此电子特气被称为半导体材料的“粮食”和“源”。 电子特气占据晶圆制造成本的13.50%,...
在光刻这一高精细工艺环节中，电子特气与气相激光技术相结合，通过精确控制氟气、氯气、氯化氢、氩气及以氖气为平衡气的氙气等气体的使用，实现晶圆表面薄膜的精准去除，根据电路设计需求，在晶圆上形成精确且位置正确的特征图形。作为关键性原材料，电子特气的质量直接关乎下游产业的稳定生产。行业壁垒方面来看，电子特...
特种气体主要包括高纯气体、电子气体、标准气体三大类,电子特种气体(简称电子特气)是特种气体的一个重要分支,是超大规模集成电路(IC)、平面显示器件(LCD、LED、OLED)、太阳能电池等电子工业生产不可或缺的原材料。 通常半导体生产行业,将气体划分成常用气体和特殊气体两类...
按照功能划分， 电子特气可以划分为稀释气体、CVD气体、蚀刻气体、掺杂气体、外延气体、离子 注入气体等。按照下游需求划分，电子特气可以划分为平板显示用气体、半导体用 气体、光伏用气体和 LED用气体，终端产品涉及家电、电脑、芯片、太阳能等不同 领域。电子特气的第一核心技术指标是高纯。电子特气作为电子加工行业...
电子特种气体(简称电子特气)是特种气体的一个重要分支,是集成电路(IC)、平面显示器件(LCD、 LED、OLED)、太阳能电池等电子工业生产不可或缺的原材料。 通常半导体生产行业,将气体划分成常用气体和特殊气体两类。其中,常用气体指集中供给而且使 用非常多的气...
电子特气属于半导体八大核心材料之一,全球半导体行业协会(SEMI)数据显示,电子特气在半导体晶圆制造材料价值占比13.50%,电子特气是继硅片之后的第二大半导体材料。本文主要就电子特气及其产业情况进行具体介绍。 1、电子特气定义及分类 电子特种气体(简称“电子特气”)是指用于半导体、平板显示及其它电子产品生产的特种气...
1 电子特气：电子工业的血液 1.1 受益集成电路产业发展，电子特气有望快速成长 按照应用领域的不同，工业气体可以分为大宗气体和特种气体。大宗气体是指纯度要 求低于 5N，产销量较大的工业气体。特种气体广泛用于电子、电力、石油化工、采矿等领 域，对纯度、品种、性质有特殊要求，产品数量多但单一产品用量较小...
根据“观研天下”数据，电子特气在集成电路领域中刻蚀用气占比 36%，掺杂用气占比 34%，外延沉积、光刻及其他用气合计占比30%。同时根据SEMI(国际半导体产业协会)数据，在晶圆制造材料中，硅片成本占比最大，达到35%，此外电子特气作为第二大耗材，占比也达到 13%，仅次于硅片。那么，常见应用电子特气有哪些？