电子背散射衍射(Electron Back Scatter Diffraction, EBSD)是一项在扫描电镜中获得样品晶体学信息的技术。EBSD利用背散射电子衍射,获取晶体取向(crystal orientation)、晶界取向差(grain boundary misorientations),物相等晶体学信息。EBSD保留了扫描电子显微镜的特点,与金相、XRD、SEM等表征手段相比,其可获取更为丰富、精度...
20 世纪90 年代以来,装配在SEM 上的电子背散射花样(Electron Back-scattering Patterns ,简称EBSP) 晶体微区取向和晶体结构的分析技术取得了较大的发展,并已在材料微观组织结构及微织构表征中广泛应用。 该技术也被称为电子背散射衍射(ElectronBackscatteredDiffraction ,简称EBSD) 或取向成像显微技术(Orientation Imaging ...
①电子散射:当高速运动的电子穿过固体物质时,会受到原子中的电子作用,或受到原子核及周围电子形成的库伦电场的作用,从而改变了电子的运动方向的现象叫电子散射。 ②相干弹性散射:一束单一波长的电子垂直穿透一晶体薄膜样品时,由于原子排列的规律性,入射电子波与各原子的弹性散射波不但波长相同,而且有一定的相位关系,相互...
EBSD系统的工作原理如下:1. 样品准备:将晶体样品放置在扫描电镜的样品台上,并调整至与水平面成70度角的位置,以便进行精确的衍射分析。2. 信号转换:样品在电子束的照射下产生背散射电子,这些电子的信号通过荧光屏转换成可见光。3. 图像捕捉:利用高灵敏度的CCD相机捕捉荧光屏上的电子衍射图案。4. 数据处理:...
电子散射是指电子束在与物质相互作用时发生散射现象。其原理可以简单描述如下: •电子与物质相互作用时,会发生散射。这是因为电子与原子或分子的相互作用力导致了电子的偏转。 •散射的强度和方向可以通过散射角及其分布来描述。散射角度越大,意味着散射程度越大。 •散射过程中,电子会损失能量。这种能量损失可以用...
前散射探测器(FSD),安装在荧光屏周围,在采集EBSD数据之前,用于生成样品微观组织图像。 EBSD系统与EDS系统集成示意图 原理:在扫描电子显微镜(SEM)中, 入射于样品上的电子束与样品作用, 将会在每一个晶体或晶粒内规则排列的晶格面上产生衍射。 从所有原子面上产生的衍射组成“衍射花样”, ...
简单来说,EBSD是一种基于电子背散射衍射现象进行分析的方法。它利用高能电子束在材料表面与晶体原子相互作用时产生的散射信号,并通过对这些信号产生的衍射图样进行检测和分析来获得材料的晶体学信息,诸如晶体取向(crystal orientation)、晶界取向差(grain boundary misorientations)、鉴别物相、以及局部晶体完整性等大量信息,...
电子散射是指电子与原子核或其他电子之间发生的散射现象。在电子散射中,电子会因碰撞而改变方向和能量。 电子散射的理论可以用散射截面来描述。散射截面是指单位立体角内发生散射的粒子数与入射粒子流密度之比。通常使用微分散射截面描述电子在不同方向上的散射行为。 电子散射理论主要基于量子力学的散射理论,如玻恩近似...
高精度对电子背散射衍射的重要性 精度、准确度、分辨率,这些都是衡量科学质量和严谨性的词,因此经常用于科学仪器的小册子和技术规范中。电子背散射衍射(EBSD)系统也不例外:例如,我们的AZtecHKL EBSD软件的技术数据表提到了“分辨率”6次、“精度”4次、“准确度”2次。但这些概念对EBSD有多重要?本文中,我们着重了...
电子散射原理 第二讲电子衍射原理 晶体学的预备知识电子的散射与衍射电子衍射谱的标定 1 电子的散射和衍射 电子衍射的发展过程 ➢1912年,劳埃通过X-ray衍射实验 –证实了晶体中原子的微观排列–开辟了用X-ray衍射研究晶体结构这一新领域 ➢1926~1927年,实现了晶体的电子衍射 –肯定了电子波动性–奠定了电子...