电子探针（ElectronProbeMicroanalysis-EPMA）的主要功能是进行微区成分分析。它是在电子光学和X射线光谱学原理的基础上发展起来的一种高效率分析仪器。其原理是：用细聚焦电子束入射样品表面，激发出样品元素的特征X射线，分析特征X射线的波长（或能量）可知元素种类；分析特征X射线的强度可知元素的含量。其镜筒部分构造和SEM
微区分析技术电子探针的原理应用与溯源
摘要本文介绍了在微区可直接观察被测对象并可获得分析结果的电子探针分析技术以及原理应用量值溯源方面的现状 微区分析技术电子探针的原理应用与溯源 微区分析技术电子探针的原理应用与溯源 李斌之 【期刊名称】《计量与测试技术》 【年(卷),期】2011(038)003 【摘要】本文介绍了在微区可直接观察被测对象并可获得...
电子探针（Electron Probe Microanalysis-EPMA）的主要功能是进行微区成分分析。它是在电子光学和X射线光谱学原理的基础上发展起来的一种高效率分析仪器。其原理是：用细聚焦电子束入射样品表面，激发出样品元素的特征X射线，分析特征X射线的波长（或能量）可知元素种类；分析特征X射线的强度可知元素的含量。...