电子探针分析是指以聚焦的高速电子来激发出试样表面组成元素的特征X射线，对微区成分进行定性或定量分析的一种材料物理试验，又称电子探针X射线显微分析。电子探针分析的原理是：以动能为10～30千电子伏的细聚焦电子束轰击试样表面，击出表面组成元素的原子内层电子，使原子电离，此时外层电子迅速填补空位而释放能量，...
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电子探针X射线显微分析仪(Electron Probe X-ray micro analyzer, EPMA),简称为电子探针,是在电子光学和X射线光谱学原理的基础上发展的一种高效率分析仪器,为一种显微分析和成分分析相结合的微区分析方法,其通常作为附件安装在扫描电镜或透射电镜的镜筒上,即波谱仪(WDS)和能谱仪(EDS)。 电子探针利用0.5~1 μm的...
一、电子探针显微分析特点 1、显微结构分析 电子与样品交互作用区域在µm量级，即分析所用到的特征 X 射线、二次电子、 背散射电子 等信息来分析样品的几个立方µm范围内，即所分析能代表的就是这几个立方µm范围内的成份、形貌和 状态等特征。微区分析是它的重要特点之一,它能将微区化学成份与显微结构...
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电子探针分析仪是广泛应用于材料科学、地球科学等领域的基础研究工具。它主要是利用聚焦的电子束去轰击固体样品表面,激发出样品中各种元素的特征X射线,再通过对X射线的波长和强度检测,实现对样品中元素组成和含量的测定。同时,激发出的二次电子、背散射电子也可以成像,...