中科院物理所自1987年开始脉冲激光淀积设备和薄膜制备技术研究。先后研制成PLD-I型,PLD-II型,PLD-III型脉冲激光淀积系统,并用PLD-II型系统研制出主要指标达国际先进水平的YBCO 高温超导薄膜。所研制的脉冲激光淀积设备和高温超导薄膜一起获得中国科学院科技进步1等奖1次,经进一步改进后又获国家科技进步3等奖1次。
《激光淀积类金刚石-金刚石膜生长过程原位光发射谱研究》是依托中国科学技术大学,由马玉蓉担任项目负责人的面上项目。中文摘要 建立了一套先进的脉冲激光淀积系统(PLD),包括进口的Nd;YAG四倍频脉冲激光器、超高真空样品室和原位光发射谱诊断设备。用此设备生长出类金刚石和金刚石薄膜,用喇曼光变等方法表征所...
专业实验——脉冲激光淀积 脉冲激光淀积(PLD)方法制备薄膜实验 PLD是一种制备薄膜材料的技术,它是伴随着激光技术的发展而一步步发展起来的。在20世纪60年代,世界上第一台红宝石激光器诞生后不久,人们就开始了激光与物质相互作用方面的研究。1987年,美国贝尔实验室的D.Dijkkamp等人用PLD技术(KrF准分子激光器)成功...
PLD脉冲激光淀积系统 PLD脉冲激光淀积系统是由中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司完成的科技成果,登记于1996年10月31日。成果信息
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《脉冲激光淀积法制备KTP晶体薄膜及其结构、性能研究》是王忠烈为项目负责人,北京大学为依托单位的面上项目。项目摘要 利用脉冲激光法制备了几种典型的氧化物功能薄膜。首次在MgO衬底上处延生长了钾钠铌酸锶钡铁电薄膜;在LaAlO3衬底上实现了该膜的异质结取向生长,并首次观测到了其典型的电滞回线和铁电参数,表明...
《脉冲激光淀积制备光学薄膜多层膜及其新效应的研究》是依托南京大学,由刘俊明担任项目负责人的青年科学基金项目。项目摘要 系统研究了几种具有实用化前景的光学薄膜脉冲激光淀积法制备,特别是ZnO、LN和BNN薄膜的制备。对不同取向KTP衬底上BNN膜微结构及光学传输特性进行了总结。利用低电场诱导的表面活性技术制备成功ZNO...
†通讯联系人.3期刘彦巍等:脉冲激光淀积BaTiO3薄膜的介电与铁电特性551膜的基本结构.YBCO膜在室温下是金属化的,可作为BT膜的下电极.同时YBCO晶格常数与BT失配小,有利于BT的外延生长.如果直接采用Pt和Al等金属膜作下电极,将不能在其上获得外延BT膜,而只能形成多晶甚至无定形膜,以至带来一系列膜的易老化、...
摘要 一种脉冲激光淀积法制备低温相偏硼酸钡单晶薄膜,它是采用脉冲激光淀积法,将α-BBO靶材的表层分子熔蒸出来,在加热的α-BBO衬底上淀积生成β-BBO单晶薄膜。本方法可以在α-BBO衬底上生长出符合需要的微米量级的β-BBO单晶薄膜,不仅节省材料,还可以批量生产,对激光技术以及集成光学的发展具有重要的意义。新闻...