其中,半导体集成电路是溅射靶材的主要应用领域之一,其制作过程中需要使用多种材料的溅射靶材,如铝、铜、钨、钛等。 四、结语 溅射靶材组件是电子产业中不可或缺的重要材料,其制作工艺和要求较高,应用领域广泛。随着电子产业的不断发展,溅射靶材组件的需求量也在不断增...
磁控溅射镀膜技术是一种通过物理或化学方法将材料沉积在基片表面的技术。其中,磁铁作为磁控溅射镀膜技术中不可或缺的核心部件,在镀膜过程中起到至关重要的作用。 1. 增强靶材的磁场 在磁控溅射的过程中,磁铁通过产生磁场,提高靶材的磁场强度,使溅射材料能够更加稳定的在基片表...
摘要 本实用新型公开了一种溅射靶材,包括靶材本体;靶材本体侧面外凸形成环形凸部;靶材本体的正面相对于环形凸部的正面凸出,靶材本体的背面相对于环形凸部的背面凸出。本实用新型还公开了一种靶材组件,包括所述的溅射靶材和设置在环形凸部背面的背板环,以及可选择性的设置在环形凸部正面的正面环。 摘要附图 新闻...
本实用新型公开了一种用于高功率磁控溅射的靶材组件,包括底座,底座的下表面开设有若干固定孔,底座上表面的中端固定连接有靶材本体,底座内腔底部的右侧固定连接有安装板,安装板右侧的中端固定连接有第一伺服电机,第一伺服电机的输出端贯穿安装板左侧的中端并固定连接有螺杆,螺杆外表面的右侧螺纹连接有滑块,滑块的上表面...
摘要 本实用新型涉及一种长寿命溅射靶材组件,所述长寿命靶材组件包括阶梯状靶材与环形背板;所述阶梯状靶材包括靶材基板以及凸出于靶材基板溅射面的凸块,靶材基板的中心与凸块的中心同心;所述靶材基板的侧壁与环形背板的内壁连接。本实用新型通过选用环状背板,并将靶材选择为阶梯状靶材,在增加靶材厚度的同时能够使靶材组...
摘要 本实用新型公开了一种高性能溅射靶材组件,包括靶材组件本体,所述靶材组件本体包括靶材以及用于承载所述靶材的背板,所述背板上开设有容纳所述靶材的容纳槽,所述靶材嵌入与所述容纳槽中,所述背板内部设置有水冷组件,所述水冷组件包括若干个嵌入槽,所述嵌入槽内分别设置有水冷环,所述水冷环内部注入有冷却液,所述...
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摘要 本实用新型涉及一种溅射靶材与背板的连接组件,其包括靶材和背板,所述背板包括背板A和背板B,所述背板B顶部设有对应背板A两侧的插槽,所述插槽对应靶材设有槽口,所述靶材固定在背板A上后一体嵌设在背板B中,靶材高于背板的顶面,采用以上技术方案使背板与靶材的安装更简便、提升设备稼动率,另外提高背板B使用寿命...
摘要 本发明公开了一种用于溅射腔室的靶材组件,所述靶材组件包括按第一方向排列的n个第一靶材,以及按与第一方向互相垂直的第二方向排列的两个第二靶材,其中,至少部分第一靶材位于所述两个第二靶材之间;并且,每一第一靶材以及每一第二靶材由功率源分别控制;其中,n≥2。本发明还公开了一种包含前述靶材组件的溅...
摘要 本实用新型公开了适用不同直径的各种金属和非金属圆形溅射靶材的包装技术领域的一种在半导体及其他应用领域中使用的溅射靶材包装组件。该溅射靶材包装组件包括包装盒、泡沫衬角、衬角连接板、直径方向泡沫调节垫组、厚度方向泡沫调节垫组和泡沫盖板六个部分,直径方向泡沫调节垫组和厚度方向泡沫调节垫组分别由多个泡沫...