溅射离子泵是一种常用的高真空泵,它的工作原理如下: 1.溅射离子泵内部有一个相对真空的容器,容器内放置有一种或多种高蒸发性的物质,如钨丝、钛等。 2.接通电源后,通过电阻丝加热,在高温下,这些物质会迅速蒸发成气体。 3.蒸发的气体会在真空容器内迅速扩散并碰撞到容器内壁上的冷凝器上,冷凝器上温度较低,因此...
它的工作原理是通过溅射离子的方式将气体分子从真空室中抽取出来,从而实现真空状态。本文将详细介绍溅射离子泵的工作原理。 一、溅射离子泵的组成 溅射离子泵主要由离子源、离子收集器和电源控制器三部分组成。离子源是溅射离子泵的核心部件,它包含一个或多个阴极和阳极。离子收集器是用于收集被离子化的气体分子的部件...
由于氩离子是在阴极被埋葬排除的,所以可改进阴极本身的结构,使溅射速率增大,从而增大对氩的抽速来解决。由此,出现了许多改进式结构,如二极型(开槽阴极型、非对称阴极型、磁控管型)、三极型(单电压、双电压三极型)和复合型(溅射离子泵一升华泵的组合)等。 溅射离子泵的极限真空一般为10-11乇,工作压强范围为10-...
郑晓阳:溅射离子泵的工作原理溅射离子泵的工作原理郑晓阳(高功率气体激光技术部)摘要:本文对潘宁型结构的溅射离子泵的工作原理、特点、结构进行了详细的介绍,并对..
离子泵的工作原理,在2个平面阴极之间是一个蜂窝状的阳极结构。所加磁场垂直于阴极板,并平行于蜂房的轴。电子围绕磁力线作螺旋运动,使气体分子电离,电离产生的电子接着使其它气体分子电离。在碰撞过程中,电子交出能量,并逐渐向阳极移动。正离子则加速向 - 真空界的小学
二、溅射离子泵工作原理 首先, 电源启动, 在阴阳极板间产生高压。由于级间距离很近, 根据E=U/d 可知, 电场强度E数值非常大, 尤其在阳极筒壁边缘处。在强大的电场和与之平行的磁场作用下, 电子以螺旋线方式高速运动, 由于电子运动行程的增加, 大大提高了与气体分子碰撞的几率。电子在空间与气体分子碰撞产生正...
溅射离子泵的工作原理
溅射离子泵的原理 早在本世纪初, 就有人在抽真空的电子管中蒸发一些化学活动性强的金属, 使其与管内未能抽净的气体发生反应, 从而降低空间的气体分子浓度。这种金属以及起着相同作用的材料就叫做吸气剂, 这种方法叫做化学清除。实验证明, 用钛持续蒸发到一个冷却的壁上, 可以形成具有相当抽气速率的泵, 形成简单...
钛泵和溅射离子泵的工作原理 钛泵的工作原理 真空的实质就是具有较低气体分子浓度的空间。因此,只要降低空间的气体分 子浓度就能获得真空,而不必有实际上的排气过程。钛泵正是基于此原理制造 的。通过加热、电离等方法使钛原子与空间气体分子发生一系列复杂的物理和 化学反应,使气体分子伴随钛原子一起沉积下来,从而...