比如水)作为介质,以达到提高分辨率的目的。技术特点 提高该介质的折射率可以加大光线的折射程度,等效的加大镜头口径尺寸与数值孔径,同时可以显著提高焦深和曝光工艺的宽容度。应用 采用193nm光源的浸没光刻(193i)技术已经成为65nm、45nm、28nm节点光刻的主流技术。
1. 近场光存储 SIL透镜可以将激光聚焦到极小的光斑,从而实现高密度的近场光存储。然而,在高速旋转过程中,将物镜与存储介质的距离保持在几十纳米是非常困难的,而且SIL近场存储的最大密度还是受到光衍射极限的限制。因此,固体浸没式透镜在近场光...
侧极靴式磁浸没透镜是一种特殊的磁透镜设计,用于聚焦和引导磁场,提高磁场的均匀性和强度。本文将介绍侧极靴式磁浸没透镜的设计特点、应用优势以及制造和应用中需要注意的问题。
如图1所示,通过将一个传统固体浸没透镜6,插入到光盘读写头的聚焦透镜5的下方,并让激光正好会聚到固体浸没透镜的下表面上,这样可以提高光学头的数值孔径NA,减小光斑的尺寸。半球型SIL可以使光斑尺寸减少为插入前的nSIL倍(nSIL是固体浸没透镜的折射率)。但是通常包含SIL的光学头的NA都大于1(在远场存储中NA小于1)...
浸没工艺是半球,超半球和标准超半球浸没透镜。根据查询相关信息显示,浸没透镜的形状可以取半球形,也可以取大于半球的超半球形。固体浸没透镜采用高折射率材料制成,有半球形和超半球形两种基本形式。
这里,有效地起到上述作用的具体的构成,可以举出,保持器具备第一保持器和第二保持器的构成;上述第一保持器被构成为筒状,通过其底面的开口在使固体浸没透镜的底面向下方突出的状态下保持该固体浸没透镜,同时在外周面上具有凸缘部;上述第二保持器被构成为筒状,且通过其底面的开口在使被保持于第一保持器的固体浸没...
浸没透镜 浸没透镜 拼音:jìn mò tòu jìng 日本語訳液浸レンズ、界浸レンズ、油浸レンズ、液浸系対物レンズ、浸漬レンズ 浸没透镜 拼音:jìn mò tòu jìng 英語訳immersion lens 索引トップ用語の索引ランキング
为了提高光学显微镜的分辨率常常使用油浸透镜,浸没透镜或浸没电子透镜和这种油浸透镜十分相似。它由两个电极组成(可以是圆筒、膜片,也可以是圆筒、膜片的组合),如图2-14所示。透镜两侧的电位为常数,但电位不相等。图2-14给出了浸没透镜的几种电极结构形式。图2-15是三种
浸没透镜 浸没透镜(immersion lens)是1993年公布的电子学名词。公布时间 1993年,经全国科学技术名词审定委员会审定发布。出处 《电子学名词》第一版。