比如水)作为介质,以达到提高分辨率的目的。技术特点 提高该介质的折射率可以加大光线的折射程度,等效的加大镜头口径尺寸与数值孔径,同时可以显著提高焦深和曝光工艺的宽容度。应用 采用193nm光源的浸没光刻(193i)技术已经成为65nm、45nm、28nm节点光刻的主流技术。
浸没透镜 浸没透镜(immersion lens)是1993年公布的电子学名词。公布时间 1993年,经全国科学技术名词审定委员会审定发布。出处 《电子学名词》第一版。
1. 近场光存储 SIL透镜可以将激光聚焦到极小的光斑,从而实现高密度的近场光存储。然而,在高速旋转过程中,将物镜与存储介质的距离保持在几十纳米是非常困难的,而且SIL近场存储的最大密度还是受到光衍射极限的限制。因此,固体浸没式透镜在近场光...
侧极靴式磁浸没透镜是一种特殊的磁透镜设计,用于聚焦和引导磁场,提高磁场的均匀性和强度。本文将介绍侧极靴式磁浸没透镜的设计特点、应用优势以及制造和应用中需要注意的问题。
为了提高光学显微镜的分辨率常常使用油浸透镜,浸没透镜或浸没电子透镜和这种油浸透镜十分相似。它由两个电极组成(可以是圆筒、膜片,也可以是圆筒、膜片的组合),如图2-14所示。透镜两侧的电位为常数,但电位不相等。图2-14给出了浸没透镜的几种电极结构形式。图2-15是三种
浸没透镜 (共99件相关产品信息) 更新时间:2024年10月19日 综合排序 人气排序 价格 - 确定 所有地区 已核验企业 在线交易 安心购 查看详情 ¥100.00/个 江苏镇江 壹号光学-200mm菲涅尔-柔光灯透镜 来图加工定制 壹号光学品牌 丹阳壹号光学科技有限公司 4年 查看详情 ¥29.00/个 陕西汉中 恒普光电 可...
中文:固体浸没透镜技术;英文:solid immersion lens technology的原理;中文:固体浸没透镜技术;英文:solid immersion lens technology的定义;中文:固体浸没透镜技术;英文:solid immersion lens technology是什么。通过使用高数值孔径的固体浸没透镜(solid immersi
浸没工艺是半球,超半球和标准超半球浸没透镜。根据查询相关信息显示,浸没透镜的形状可以取半球形,也可以取大于半球的超半球形。固体浸没透镜采用高折射率材料制成,有半球形和超半球形两种基本形式。
本发明纳米尺度固体混合浸没透镜是在普通的纳米尺度固体浸没透镜中心插入了纳米圆柱,这种固体混合浸没透镜可以在纳米圆柱的出射端附近产生强烈的模式压缩现象,从而有效降低近场聚焦光斑的半高宽。本发明所提出的纳米尺度固体混合浸没透镜可以将近场光斑的分辨率提高到接近八分之一波长,从而突破阿贝衍射极限,大幅提升近场光学...
固体浸没式透镜单元、半导体检查装置.pdf,本发明的固体浸没式透镜单元具备:固体浸没式透镜,其具有用于抵接于由硅基板构成的半导体器件的抵接面、及配置为与物镜相向的球面,且使具有200nm以上1100nm以下范围内的至少一部分的波长的光透射;固持件,其保持固体浸没式透镜;