浅槽隔离，即 shallow trench isolation，简称STI。通常用于0.25um以下工艺，通过利用氮化硅掩膜经过淀积、图形化、刻蚀硅后形成槽，并在槽中填充淀积氧化物，用于与硅隔离。内容简介 浅槽隔离(Shallow Trench Isolation；STI)技术制作有源区域之间的绝缘结构已逐渐被普遍采用。STI结构的形成通常是先在半导体基底上沉积...
近年来,随着矿井煤质变差,原煤泥化严重,循环水系统浓度增加,重介质悬浮液黏度急剧上升,导致浅槽介质流系统堵塞严重,分选环境恶化,而浅槽介质流是否畅通,决定了物料的分层效果及分选精度,是整个分选过程中至关重要的环节。 神东洗选中心各选煤厂基本为块煤浅槽分选工艺,由于上升流堵塞导致设备无法正常工作的情况普遍存在...
浅槽隔离技术在深亚微米CMOS技术中的最新进展主要体现在对其关键工艺步骤的深入研究和优化上,而面临的挑战则包括提高工艺精度、控制器件性能影响以及降低成本等方面。 浅槽隔离技术在防止漏电和保护器件免受损伤方面的机制是如何工作的? 浅槽隔离技术在防止漏电和保护器件免受损伤方面的机制主要通过以下几个方面工作: 1...
从施工难度上来看,深槽工艺由于需要处理更深的凹槽,对施工技术的要求也相对较高,需要更精细的操作以确保填充均匀且无瑕疵。而浅槽工艺则相对简单一些,更容易掌握和施工。 综上所述,水包砂的深槽和浅槽工艺各有其特点和适用场景。在选择时,应根据实际需求和预算进行综合考虑,以达到最佳的装...
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二、水包砂中的浅槽、深槽和超深槽 在进行表面修补时,常常需要对表面的凹凸不平进行填充。根据凹凸不平的程度,可以将表面分为浅槽、深槽和超深槽三种情况。 1、浅槽 浅槽指表面凹陷程度较轻的区域,常只需要填补少量水包砂即可平整。浅槽的判断有以下几...
形成集成电路包括确定隔离区域以便防止在器件之间发生寄生电流泄漏。隔离技术包括浅槽隔离(STI)方案,该浅槽隔离方案增加了Si超大规模集成电路(Si VLSI)器件的平坦性和封装密度,因此由于大约0.25微米(μm)的技术节点已经成为选择的隔离方案。 在典型STI方法中,有源器件区域由垫(pad)氧化层和氮化物覆层保护,且环绕有源...
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选煤厂浅槽是一种重要的筛选设备,是按照物料大小分选物料的设备之一。它具有筛分效果好、结构简单、使用维护方便等特点。在选煤厂中应用广泛,被广泛用于煤炭、冶金、建材、化工等行业。 二、专业的浅槽生产公司推荐 1. 河南华泰重工机械有限公司 河南华泰重工机械有限公司是一家专业从事选煤设备、破碎设备等...