氮化硅粉体制备方法 方法 原料 化学方程式 工艺要点 固相反应法 硅粉直接氮化法 纯度较高的硅粉和氮气或者氨气 3Si+2N2→Si3N4 3Si+4NH3→Si3N4+6H2 硅粉中Fe、O、Ca等杂质<2%,加热温度≤1400℃,并注意硅粉粒度与N2的纯度;1200~1300℃时α-Si3N4含量高,但产物较为粗大,需后加工,易混入杂质...
目前氮化硅粉的制备方法主要有硅粉氮化法、二酰亚胺合成法、碳热还原法、等离子法等方法,不同的粉体合成工艺,对粉体的特征有巨大的影响。 图 氮化硅粉体,来源:中材高新 1、硅粉氮化法 硅粉氮化法是将亚微米级的硅粉在1200℃的高温、氨气或氮气的气氛下,硅与氨气或氮气直接反应制备氮化硅粉的方法,反应方程式如下...
氮化硅粉体的制备方法主要有固相法、液相反应和气相反应法。 固相法:又可以分为硅粉直接氮化法、碳热还原二氧化硅法和自蔓延法。 硅粉直接氮化法:是高纯硅粉与氮气进行高温氮化反应;这种方法合成成本低,广泛应用于大规模生产,但较难控制晶相,反应产品容易成块。 碳热还原二氧化硅法:石英粉与高纯碳粉在氮气或者氨气条件...
专利摘要显示,本发明涉及技术领域,且公开了一种球形氮化硅粉体的快速制备方法,包括如下步骤:将β相氮化硅粉体、烧结助剂粉体配比混料,湿法球磨后喷雾造粒,并以氮气为载气将造粒粉送入高温火焰球化炉,进行快速烧结后得到球形氮化硅粉体。本发明的球形氮化硅粉体可用作电子封装和热界面材料的高热导填料,且其制...
氮化硅粉体制备基板的制备方法有多种,包括热压法、热等静压法、气相沉积法、溶胶-凝胶法等。其中,气相沉积法是目前应用最广泛的方法之一。 气相沉积法是指在高温、高压和气体流动的条件下,使氮化硅在基板表面沉积形成薄膜。在这个过程中,需要控制气体流量、沉积速率、温度等因素,以获得...
一种氮化硅粉体的制备方法专利信息由爱企查专利频道提供,一种氮化硅粉体的制备方法说明:本发明公开一种氮化硅粉体的制备方法。该方法通过将正硅酸四乙酯、硝酸铵、可溶性淀粉、乙醇在去离子...专利查询请上爱企查
成都氮化硅粉体的制备方法有多种,包括硅粉直接氮化法、热分解法、溶胶-凝胶法等。其中,硅粉直接氮化法是一种常用的制备方法,其原理是将硅粉在高温下与氮气反应,生成氮化硅粉体。这种方法具有工艺简单、成本较低等优点,但制备过程中需要严格控制氮化温度、氮化速度、原料的粒度以及稀释剂的浓度等因素,以保证制备出的...
一、氮化硅微粉的制备方法 1、硅粉直接氮化法 该方法采用化学纯的硅粉(分析纯:95%以上)在NH3,N2+H2或N2气氛中直接与氮反应实现,其反应方程式如下: 硅粉直接氮化合成Si3N4微细粉的优点是工艺流程简单,成本低。缺点是该方法反应慢。需较高的反应温度和较长的反应时间,制备的Si3N4粒径分布较宽,需要进一步经过粉碎...
制备高纯氮化硅粉体的方法主要包括以下几个步骤。 第一步,准备反应装置。选择合适的反应釜和加热设备,确保反应过程的控制和安全。 第二步,将硅粉放入反应釜中。硅粉的粒径和形状对反应过程和产物性质有一定影响,因此需要根据实际需求选择合适的硅粉。 第三步,通入氨气。在反应釜中通入适量的氨气,与硅粉进行反应。反...