氦、氖、镓三束离子显微镜

2025-03-04 03:40:34

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• 表征与分析&刻蚀 | 氦氖镓三束微纳离子显微镜

  氦氖镓三束微纳离子显微镜通过汇聚并控制离子束对样品表面进行扫描,进而实现微纳米尺度的高分辨率成像和精密加工。

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