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机械磨是一种机械加工工具,通常用来对金属、非金属等不同的工件进行加工,可以加工到较高的精度和表面质量。根据磨轮的转轴位置和加工方式,机械磨可以分为平面磨、外圆磨、内圆磨等多种类型。 二、机械磨的工作原理 1. 切削力的作用 机械磨在加工过程中,通过磨轮对工件表面进行切削,这个过程中产生了一个切削力...
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环境控制系统:控制机台周围的环境,如温湿度控制,排气等 cmp工序中有哪些参数可以调整? CMP工序中需要优化许多变量。除了薄膜类型和图案密度等晶圆变量外,CMP 可以控制的参数还包括:时间、压力(施加到晶圆和抛光垫上的力)、抛光头及抛光盘速度、温度、抛光液供给速率、抛光液种类,抛光垫弹性、抛光垫硬度等。
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