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无尘室工程,亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。没有无尘室,污染敏感零件不可能批量生产。在 FED-STD-2里面,无尘室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有...
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通常采用单向流动的气流形式，即洁净空气从无尘室的高洁净区域流向低洁净区域，形成气流屏障，防止外界空气和颗粒物的进入。通过合理的气流设计和压差控制，可以维持无尘室内的洁净度。3.过滤设备：无尘室工程中常用的过滤设备包括高效过滤器、预过滤器、活性炭过滤器等。高效过滤器是最重要的组成部分，可以有效过滤空气中...
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