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一、啥是金属掩膜板？首先啊，咱们得弄明白，这金属掩膜板到底是个啥玩意儿。简单来说，它就是一块特别精细的金属板子，上面布满了密密麻麻的小孔。这些小孔啊，可不是随便打的，它们的作用大着呢！在高科技领域，特别是咱们现在常说的OLED显示技术里，金属掩膜版扮演着至关重要的角色。OLED，就是有机发光二极管...
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掩膜板(Mask)是一种用于光刻的工具,也称为掩模或遮罩,可以帮助实现这一目的。 掩膜板通常采用高分辨率投影图形,由金属或透明玻璃制成。其中,金属掩膜板主要用于光刻工艺,主要包括金属反射式掩膜板和金属透射式掩膜板;透明掩膜板采用的是光刻胶的投影透射法,直接利用光阑模具制取。 二、掩膜板的作用是...
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在上面的流程中,我们用到了N-Well掩膜板和ACTIVE掩模板,后续流程还有用于形成多晶硅栅极的POLY掩模板,用于决定金属层与半导体或多晶硅的接触孔位置的CONTACT掩模板,以及用于实现多层金属层间的通信的VIA掩模板。在这里我们就不细说了,后续说到CMOS工艺流程时,我们再详聊。