二、毛毡垫 毛毡垫通常是由高密度羊毛或人造毛制成。毛毡垫适用于光泽度较低的抛光工艺,可以得到非常好的抛光效果。相比泡沫垫,毛毡垫的磨损程度较大,使用寿命较短,但是它的抛光效果非常好,光洁度高,能够从根本上解决表面的瑕疵。 三、绒布垫 绒布垫通常是由纤维素或合成纤维制成,使用寿命较长,适用于高速旋转的...
抛光垫种类可按材质结构主要有:聚合物抛光垫、无纺布抛光垫、带绒毛结构的无纺布抛光垫、复合型抛光垫。 ①聚合物抛光垫 聚合物抛光垫的主要成分是发泡体固化聚氨酯,聚氨酯抛光垫具有抗撕裂强度高、耐磨性强、耐酸碱腐蚀性优异的特点,是最常用的抛光垫材料之一。 图 聚氨酯抛光垫微观结构 在抛光过程中,聚氨酯抛光垫表...
1. 硬质抛光垫:由硬质材料制成,具有较高的机械强度和耐磨性。这类抛光垫适用于需要高去除速率的场景,但可能导致较高的表面粗糙度。 2. 软质抛光垫:由柔软的聚合物材料制成,具有较好的弹性和吸水性。软质抛光垫适用于需要低表面粗糙度和高平整度的应用,但去除速率相对较低。 3...
抛光垫按是否含有磨料可以分为有磨料抛光垫和无磨料抛光垫;按软硬程度分为软垫和硬垫,按材质的不同可以分为聚氨酯抛光垫、环氧树脂抛光垫、磺化聚异戊二烯共聚物、海藻酸钠、无纺布抛光垫等;按表面结构的不同大致可分为圆环形、网格型、放射型、渐开线型和螺旋线型,以及仿生结构等。 除此之外,还有一类特殊的抛光垫-...
1. 聚氨酯(PU)抛光垫 聚氨酯(PU)抛光垫是一种常见的抛光垫类型,其硬度较低,具有较好的柔软性和弹性,因此适用于需要比较柔软的抛光垫的情况。其抛光效果非常好,而且使用寿命也较长,但相应的价格较高。 2. 聚酯(PET)抛光垫 聚酯(PET)抛光垫是另一种常用的抛光垫类...
CMP关键材料准入壁垒 | CMP材料所面对的共同壁垒主要有两个:技术壁垒和客户认证。 1、技术壁垒:在种类繁多的半导体材料子行业中,抛光垫、抛光液是最容易被“卡脖子”的领域之一,究其原因就在于,为了实现纳米级的打磨技术,对抛光垫和抛光液的要求也极为严苛。而且随着制程工艺越来越先进,对这两种材料的技术要求也不...
抛光垫种类可按材质结构主要有:聚合物抛光垫、无纺布抛光垫、带绒毛结构的无纺布抛光垫、复合型抛光垫。 ①聚合物抛光垫 聚合物抛光垫的主要成分是发泡体固化聚氨酯,聚氨酯抛光垫具有抗撕裂强度高、耐磨性强、耐酸碱腐蚀性优异的特点,是最常用的抛光垫材料之一。
泡沫垫是目前使用最为广泛的一种抛光垫。它通常由聚氨酯泡沫制成,并具有柔软性、弹性好、吸水性强等特点。泡沫垫适用于大部分抛光机型号,平整度好,不易造成二次磨损。此外,使用的时间越长,泡沫垫的磨损程度就越小,因此它也是一种非常耐用的抛光垫。 二、毛毡垫 毛毡垫通常是由高密度羊毛或人造毛制成。...
Cmp抛光垫种类可按材质结构主要有:聚合物抛光垫、无纺布抛光垫、带绒毛结构的无纺布抛光垫、复合型抛光垫。 ①聚合物抛光垫 聚合物抛光垫的主要成分是发泡体固化聚氨酯,聚氨酯抛光垫具有抗撕裂强度高、耐磨性强、耐酸碱腐蚀性优异的特点,是最常用的抛光垫材料之一。