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图1 SEM镜筒结构及光栅扫描成像示意图 电子是原子中带负电荷的粒子。在光镜中，光子由玻璃透镜聚焦。在电镜中，电磁铁用于聚焦电子。电子束与样品表面的相互作用会影响获得的图像。SEM可以提供跨微米和纳米尺度研究，分辨率通常在3-0.5nm之间，最高的分辨率可以达到0.4nm。SEM通常可将样品的细节放大约10倍至30万...
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光学扫描镜是一种优秀的矢量扫描设备,能使入射光束按照特定的方式与时间顺序发生反射,从而在像面上实现扫描成像.传统的光学扫描镜体积大、成本高,且多为散装,大大限制了其应用。相较于传统的扫描镜,MEMS扫描镜具有尺寸小、成本低、扫描频率高、响应速度快和功耗低等优点,以被广泛的应用在光通信、扫描成像、激光雷达...
扫描电子显微镜结构图 其中最重要的三个系统是电子光学系统、信号探测处理和显示系统以及真空系统。 1、电子光学系统 电子光学系统包括电子枪、电磁透镜、扫描线圈、样品室等,主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成象。 电子枪:用于产生电子,主...
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