悬臂梁微结构是指在微米尺度下制备的具有悬臂梁结构的微电子元件。它由一段细长的梁和两个支撑端组成,可以用于实现微型机械振动、加速度测量、力传感等功能。悬臂梁微结构具有较高的灵敏度、快速响应、抗干扰能力强等特点,所以在微机电系统中得到了广泛应用。 二、悬臂梁微结构的制备方法 目前,悬臂梁...
基于微悬臂梁结构的生化传感器 维普资讯 http://www.cqvip.com
摘要:文中研究了谐振方法测量流体黏度的测量机理,采用MEMS工艺设计并加工了微悬臂梁结构的流体黏度传感 器芯片,芯片作为振动体采用电磁激励和压阻检测的方法进行粘度测量。设计了封装结构并搭建了实验系统,在室温环 境20℃和25℃2个温度点下进行了4种有机流体的黏度测量。实验结果表明,微悬臂梁结构的谐振式MEMS黏度传...
专利名称：一种仿生微悬臂梁结构、其制造方法及压阻传感器专利类型：发明专利 发明人：韩志武,赵宇峰,侯涛,刘富,刘云,王跃桥,宋阳,游子跃申请号：CN201811643516.2 申请日：20181230 公开号：CN109696185A 公开日：20190430 专利内容由知识产权出版社提供 摘要：本发明提供了一种仿生微悬臂梁结构、其制造方法及压阻...
通过本发明中的微纳加工方式可实现变刚度微悬臂梁的微型化、按需可控制备,进一步拓宽了悬臂梁传感器的应用范围并为光反射式传感器微型化奠定坚实基础。本发明可通过改变现有变刚度悬臂梁结构,如在悬臂顶部制备针尖结构,进一步拓展应用范围。 二、法律状态 法律状态公告日法律状态法律状态信息 2023-04-14 实质审查的生效 ...
本实用新型公开了一种基于微悬臂梁结构的F‑P型光纤湿度传感器。其特征在于:该传感器由单模光纤、毛细管、金膜和琼脂糖凝胶薄膜组成。使用飞秒激光将毛细管端面涂覆的金膜穿透,形成一个开口腔的刚性矩形的微悬臂梁结构,其悬臂梁的长度为95um～110μm,宽度为25μm～35μm,厚度为0.1μm～0.15μm。在微悬臂梁结构...
微悬臂梁结构氢气传感器的制作研究
专利摘要:本发明公开了基于微结构悬臂梁的光纤传声器及传声系统,包括:振膜,振膜的中间位置处开设有矩形通孔;微结构悬臂梁,微结构悬臂梁设置在矩形通孔中,与矩形通孔的宽边连接,设置为在声波作用下沿垂直于振膜表面的方向摆动;其中,微结构悬臂梁包括相互连接的第一梁臂和第二梁臂,第一梁臂的端部设置与矩形通孔...
内嵌通道微悬臂梁的一种并联结构及加工方法专利信息由爱企查专利频道提供,内嵌通道微悬臂梁的一种并联结构及加工方法说明:本发明公开了内嵌通道微悬臂梁的一种并联结构及加工方法,属于MEMS领域。本发明是在微悬臂梁的内...专利查询请上爱企查
ANSYS在FPA结构微悬臂梁温度场分析中的应用