[标准物质]均匀性是2015年全国科学技术名词审定委员会公布的计量学名词。定义 与物质的一种或多种特性相关的具有相同结构或组成的状态。通过测量取自不同包装单元或取自同一包装单元(如瓶、包等)的、特定大小的样品，测量结果落在规定不确定度范围内，则可认为标准物质对指定的特性量是均匀的。公布时间 2015年，经...
测量均匀性测几个点？如上图，在晶圆厂中一般有三种方案：5点测量: 这种方法在晶圆的中心和四个边缘位置进行测量。9点测量: 比5点测量更精细，在晶圆的中心、四个边缘和四个中间位置进行测量。49点测量: 在晶圆的49个点进行测量，通常分布在整个晶圆表面。49点测量提供了更高的分辨率，是评估均匀性更为标准的...
均匀性是衡量工艺在晶圆上一致性的一个关键指标。比如薄膜沉积工序中薄膜的厚度;刻蚀工序中被刻蚀材料的宽度,角度等等,都可以考虑其均匀性。 什么是片内均匀性(Within-Wafer Uniformity)? 片内均匀性是指单片晶圆上不同位置之间的指标差异。测量片内均匀性通常会选择若干代表性...
均匀性计算公式的一般形式如下: U = ∑i=1n |Pi - 1/n| 其中n是样本总数,Pn是第n个样本出现的频率。 例如,假设有6个样本,其中A样本出现了2次,B样本出现了3次,C样本出现了4次,D样本出现了5次,E样本出现了1次,F样本出现了0次,则U的值为: U = |2/6-1/6|+|3/6-1/6|+|4/6-1/6|+|5...
在 Excel 2007 中，计算数据均匀性的方法主要有以下两种：1. 方差方法：计算标准差 可以使用以下公式来计算数据的标准差：=STDEV.S(A1:A10)其中 A1:A10 是要计算的数据范围。标准差越小，说明数据的分布越均匀。2. 百分比方法：计算最大值和最小值之间的差值占整个数据范围的百分比 可以使用以下公式...
均匀性协方差的计算公式为：Cov = * Σ μ)^2)其中： Cov 是均匀性协方差值，用于评估图像中的噪声水平。 N 是图像中像素的总数。 X 是图像中第i行、第j列像素的灰度值。 μ 是图像的平均灰度值，通过将图像中所有像素的灰度值相加后除以总像素数N得到。计算步骤如下：1. 计算总像素数N...
薄膜均匀性有几种? 一般会考虑:片内均匀性(within-wafer uniformity)、片间均匀性(wafer-to-wafer uniformity)和批次间均匀性(lot-to-lot uniformity)。 以片内均匀性为例,计算其标准偏差: 该公式计算了各个数据点与数据均值之间的差异的平方平均值,然后取其平方根。
为检验样品的均匀性,抽取i个样品(i=1、2、……m),每个样在重复条件下测试j次(j=1、2、……n) 4判定标准: 若F<自由度为(f1,f2)及给定显著性水平α(通常α=0.05)的临界值Fα(f1,f2),则表明样品内和样品间无显著性差异,样品是均匀的。
标准样品的均匀性是标准样品的基本性质。均匀性即是物质的一种或几种特性具有同组分或相同结构的状态。检验规定大小的样样品,若被测量的特性值在规定的不确定度范围内,则该标准样品对这一特性值来说是均匀的。不论在制备标准样品过程是是否经过均匀性初验,凡成批制备并分装成最小包装单元的标准样品,必须进行均匀性...