3. 光学系统:ASML光刻机的光学系统包括多个精密的反射镜和透镜,用于投影光源上的图案。这些光学元件能够控制和调整光束的方向和焦距,实现高分辨率和高质量的光刻图案。 4. 智能校准和补偿:ASML光刻机具备智能校准和补偿功能,能够实时监测和纠正光刻过程中的误差和偏差。这种自动校准技术可保证刻图的准确性和一致性。