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双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展而来的一种外差式干涉仪。传统单频激光干涉仪采用单频技术,容易受到外界环境干扰,微小的空气湍流都会引起直流电平变化从而影响测量结果,这是单频干涉仪的一个根本弱点。在测试环境恶劣或测量距离较长时,这一缺点十分突出,而双频激光干涉测量仪正好克服了这一缺点。双频干涉仪...
激光稳频精度±0.02ppm 线性测量范围40m 线性测量精度±0.1ppm(真空中) ±0.4ppm*(使用LC-2000环境补偿器) 分辨率1nm 测量速度2m/s 工作电源220V/50Hz 北京镭测科技有限公司为您提供镭测科技激光干涉仪LH2000双频激光干涉仪,镭测科技激光干涉仪LH2000双频激光干涉仪产地为北京,属于国产激光干涉仪激光干涉仪,除了镭测...
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镭测科技激光干涉仪LH1000双频激光干涉仪 专为光刻机配套开发的高精度测量系统; 通过国家重大专项“极大规模集成电路制造技术及成套工艺”项目验收。 采用直接输出线偏振光的双频激光器; 非线性高精密测量系统,测量更精确; 可提供1~20MHz频差内任意频差产品,满足各种测量速度需要。