一、机械夹持 机械夹持是主轴和压头之间常见的连接方式。这种连接方式需要独立的夹头来夹紧零件,夹头和主轴之间有槽口,夹紧零件时通过螺旋或手动旋转夹紧,可以实现部件的快速更换。 二、锥形接口 锥形接口是连接主轴和压头的预制构造,常见于精密加工设备中。锥形接口通过锥形表面和锥形接轴下部的曲面实现连接,具有...
键连接是一种采用键槽来连接的传动形式。主轴一侧外径加工出一个键槽,压头内侧也加工一个配对的键与之配合。具体操作步骤为将压头套上主轴末端,用螺钉将压头固定在主轴上。 优点:安装方便,精度高,承载能力强。 缺点:制造成本相对较高,键槽需加工。 应用场景:注塑机、压力机、铸造设备等机械设备...
专利摘要显示,本申请提供一种压头,用于对晶圆提供下压力,将所述晶圆按压在工作盘的上表面进行打磨,半导体设备加工技术领域,所述压头包括依次连接的驱动部、主轴、连接部和压盘;所述驱动部用于驱动所述主轴进行升降运动,进而带动所述连接部和所述压盘进行升降运动;所述连接部连接于所述主轴和所述压盘之间,所述连接部...