目前,拉制单晶硅主要采用直拉法和区熔法两种方法。 一、直拉法 直拉法是一种常用的制备单晶硅的方法。该方法通过在一个直筒型的热系统中,利用石墨电阻加热将装在高纯度石英坩埚中的多晶硅熔化,然后插入籽晶进行熔接。在熔体表面形成单晶后,通过缓慢向上提拉籽晶并同时旋转,经过引晶、放大、...
在半导体制造领域,拉制单晶硅是一个至关重要的环节。单晶硅的纯度对其性能有着决定性影响。为了确保单晶硅具有优良的电学性能和稳定性,拉制单晶硅的纯度要求通常达到99.9999%以上,即所谓的6N标准。这意味着在每百万个硅原子中,只允许存在极少数的杂质原子。如此高的纯度要求,是制造高性能半导体...
在半导体行业中,单晶硅的纯净度是其性能的关键所在。要确保拉制出的单晶硅达到高性能要求,其纯度标准必须严格控制。一般而言,单晶硅的纯度需达到99.9999%以上,即所谓的6N标准。这一高标准是为了保证单晶硅具有卓越的电学性能和稳定性,从而满足半导体器件的严苛需求。要实现这一纯度标准,需从多个方面着手:首先,原料的纯度...
专利摘要显示，本实用新型公开了一种单晶硅拉制炉用碳碳加热器，包括两个发热块，所述发热块一端安装固定块，发热块另一端对称安装搭接块和卡接块，固定块远离发热块一端开设插槽，插槽内壁对称开设限位槽，限位槽远离插槽一端开设通孔一，固定块侧面对应通孔一的位置安装固定罩一，固定罩一内部滑动连接拉块一，拉...
Czochralski法是单晶硅生产的主要方法之一。该方法通过在熔体中拉出单晶硅,可以获得高纯度、大尺寸、低缺陷密度的单晶硅。该方法的原理是将高纯度的硅粉末投入到石英坩埚中,加热到熔点以上,使硅粉逐渐熔化。然后,在坩埚上方放置一个单晶硅种晶棒,通过反复缓慢拉伸种晶棒,使其逐渐向下拉动,同时熔体温度不断维持...
简单来说,翻料就是将拉制好的单晶硅棒进行倒置,使其某一端成为“头”部,以便后续加工和利用。这一过程中,需要借助翻转技术来实现。 一、翻转技术的重要性 翻转技术在单晶硅拉制过程中起着关键作用。由于单晶硅棒在拉制过程中会形成一定的温度梯度和应力分布,通过翻转可以使其更...
1. 单晶硅的两大主流生产工艺 1.1 提拉法(Czochralski, CZ)生产工艺 提拉法是目前生产单晶硅的主要工艺之一,占据了半导体和光伏材料的大部分市场份额。提拉法工艺以高纯度多晶硅为基础,通过种晶引导晶体的生长,在控制环境下逐渐形成符合工业需求的单晶硅棒。以下是详细的工艺步骤及技术核心。
早在1918年,Jan Czochralski就提出了直拉晶体生长法。不过,直到三十多年后,也就是1952年左右,Teal和Buehler等人才利用直拉法制备出单晶硅。这种方法主要是将旋转的籽晶与石英坩埚内的多晶硅熔体接触,在籽晶与熔体的固-液界面处,熔体逐渐在籽晶上结晶,转化为固相。随着籽晶被缓慢拉起,符合要求的单晶即被拉制而出...
九-单晶硅制备直拉法 直拉生长工艺 直拉法又称Cz法，目前，98%的电子元件都是用硅材料制作的，其中约85%是用直拉硅单晶制作的。直拉硅单晶由于具有较高的氧含量，机械强度比Fz硅单晶大，在制电子器件过程申不容易形变。由于它的生长是把硅熔融在石英坩埚中，而逐渐拉制出的，其直径容易做得大。目前直径300mm...
在单晶硅拉制过程中,温度梯度控制技术是确保晶体质量和生产效率的重要因素。本文将对单晶硅拉制设备中的温度梯度控制技术进行研究和分析,从而提高单晶硅的质量和生产效率。 一、 单晶硅拉制工艺简介 单晶硅拉制工艺是将高纯度的硅液逐渐冷却结晶,形成单晶硅棒的过程。整个过程包括预成核、生长和拉制三个阶段。 在预成...