光刻机是光刻工艺的核心设备,也是所有半导体制造设备中技术含量最高的设备,包含上万 个零部件,集合了数学、光学、流体力学、高分子物理与化学、表面物理与化学、精密仪器 、机械、自动化、软件、图像识别领域等多项顶尖技术。 作为整个芯片工业制造中必不可少的精密设备——光刻机,其光刻的工艺水平直接决定芯片 的制...
光刻机:半导体工业皇冠上的明珠 光刻机是光刻工艺的核心设备,也是所有半导体制造设备中技术含量最高的设备,包含上万 个零部件,集合了数学、光学、流体力学、高分子物理与化学、表面物理与化学、精密仪器 、机械、自动化、软件、图像识别领域等多项顶尖技术。 作为整个芯片工业制造中必不可少的精密设备——光刻机,其...