半导体器件 微电子机械器件 第7部分:用于射频控制和选择的MEMS体声波滤波器和双工器doi:GB/T 42709.7-2023工业和信息化部(电子)刘若冰李博崔波梁彦青张威陈得民杨清瑞
《GB/T 42709.7-2023 半导体器件 微电子机械器件 第7部分:用于射频控制和选择的MEMS体声波滤波器和双工器》本文件界定了用于射频控制和选择的MEMS体声波谐振器、滤波器和双工器的术语和定义,给出了基本额定值和特性,描述了测试方法,用于评估和确定其性能。本文件规定了
GB/T 42709.7-2023是关于半导体器件中的微电子机械系统(MEMS)的一个标准,特别聚焦于射频控制与选择领域内的MEMS体声波滤波器和双工器。该标准旨在为这些特定类型的MEMS组件提供规范化的性能要求、测试方法以及质量评估指南,以确保其在各种应用场景下的可靠性和一致性。